Trong quy trình PVD, các thông số liên quan đến nhiệt độ ngày càng được kiểm soát chặt chẽ hơn—mỗi quý, có vẻ như chúng ta lại phải loại bỏ thêm một yếu tố gây ảnh hưởng đến chất lượng sản phẩm. Chỉ cần một sự biến đổi nhỏ về nhiệt độ từ các bóng đèn chiếu sáng cũng đủ khiến cho các thông số liên quan đến quá trình xử lý phim quang học bị ảnh hưởng; kết quả là độ chính xác của các đường nét trên bề mặt wafer giảm xuống. Chúng tôi thiết kế những bóng đèn PVD này để đảm bảo rằng các thông số nhiệt độ được duy trì ổn định, từ lần này sang lần khác.
Những yếu tố quan trọng thực sự Những bóng đèn này sử dụng ánh sáng hồng ngoại tia ngắn, và được bao bọc bởi vỏ bằng thạch anh; do đó, việc điều chỉnh nhiệt độ diễn ra nhanh chóng và ổn định. Độ đồng đều về nhiệt độ trên toàn bề mặt wafer được kiểm soát ở mức ±0,1°C – con số này đủ để đảm bảo chất lượng sản phẩm trong các quy trình xử lý phức tạp. Những bóng đèn này được thiết kế dành cho môi trường sạch loại 1–100, với cấu trúc kín, ít phát sinh khí thải, và không tạo ra bụi. Hệ thống điều nhiệt của chúng có thể hoạt động 24/7, và theo dữ liệu thực tế, chúng không gặp sự cố nào trong hơn 5.000 giờ hoạt động, với độ lệch nhiệt độ dưới 5%.
Trong quy trình PVD, việc duy trì nhiệt độ ổn định trên bề mặt wafer là yếu tố then chốt để đảm bảo chất lượng sản phẩm. Những bóng đèn này giúp duy trì nhiệt độ ổn định trong mỗi lần xử lý, từ đó giảm độ biến đổi về độ dày của lớp phim trên bề mặt wafer. Kết quả là chất lượng sản phẩm được đảm bảo, giảm số lượng sản phẩm phải được xử lý lại, và việc bảo trì cũng trở nên dễ dàng hơn.
Việc sử dụng năng lượng cũng được tối ưu hóa để đảm bảo quá trình hoạt động diễn ra nhanh chóng và ít tổn thất năng lượng, từ đó giúp giảm chi phí vận hành mà không ảnh hưởng đến tốc độ xử lý.
Một vài lưu ý khi lắp đặt Những bóng đèn này có thể được lắp đặt trực tiếp vào các thiết bị PVD tiêu chuẩn. Tuy nhiên, bạn vẫn cần kiểm tra xem chúng có được lắp đặt đúng vị trí so với các cửa thông gió và đường dẫn khí lạnh hay không. Thời gian cần thiết để điều chỉnh các thông số liên quan đến nhiệt độ khá ngắn. Một khi đã được điều chỉnh đúng, độ ổn định của nhiệt độ sẽ được duy trì, và khoảng thời gian bảo trì cũng sẽ kéo dài hơn – từ đó tăng thời gian hoạt động của thiết bị và giảm công sức bảo trì.