http://ir-heat-fire.com/vi/tags/ozon/ Recent content in Ozon on Intense Infrared Heating Lamps Hugo vi Mon, 01 Jun 2026 19:59:39 +0800 http://ir-heat-fire.com/vi/posts/ozone-free-infrared-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 19:59:39 +0800 http://ir-heat-fire.com/vi/posts/ozone-free-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-fire.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Đèn hồng ngoại không ozone"></p> <p>Trên sàn sản xuất, quá trình xử lý <a href="https://o-yate.net">photoresist</a> không cho phép sai lệch nhiệt độ. Một bước soft bake chỉ lệch 0,5°C so với mục tiêu đã bắt đầu gây ra biến động kích thước điểm (CD) trên toàn wafer. Sự không ổn định của hard bake? Đó là nguyên nhân gây ra hiện tượng scumming và các vấn đề về độ bám dính. Đèn truyền thống càng làm tình trạng tệ hơn bằng cách sinh ra ozone, chất này ăn mòn photoresist và làm tăng số lượng hạt bụi—đặc biệt trong các phòng sạch Class 1–100.</p>