http://ir-heat-fire.com/zh/tags/%E5%9B%BA%E5%8C%96%E6%B2%BB%E7%96%97/ Recent content in 固化；治疗 on Intense Infrared Heating Lamps Hugo zh Thu, 04 Jun 2026 03:14:53 +0800 http://ir-heat-fire.com/zh/posts/reflector-for-wafer-curing-lamp/ Thu, 04 Jun 2026 03:14:53 +0800 http://ir-heat-fire.com/zh/posts/reflector-for-wafer-curing-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-fire.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="晶圆固化灯反射器"></p> <h1 id="在线光刻胶烘烤的重复性是基线没有余地在晶圆上温度漂移几度你就会打印出01-μm的线宽误差然后在每一层光刻过程中看到它的积累我们为晶圆固化灯构建的反射器旨在消除这种可变性它将红外线塑造成一个稳定的亚毫米热场因此您的软烘烤和硬烘烤在每一批次中都能保持在规范范围内">在线，光刻胶烘烤的重复性是基线——没有余地。在晶圆上温度漂移几度，你就会打印出0.1 μm的线宽误差，然后在每一层光刻过程中看到它的积累。我们为晶圆固化灯构建的反射器旨在消除这种可变性。它将红外线塑造成一个稳定的亚毫米热场，因此您的软烘烤和硬烘烤在每一批次中都能保持在规范范围内。</h1> <p><strong>技术上重要的事项</strong> 该反射器经过调校，以实现NIR传递并具有严格的角度控制，使晶圆平面上的强度映射在±0.1°C范围内。几何形状经过优化，以实现均匀性，而非峰值通量，因为光刻胶的固化生死在于一致的热预算。表面经过工程设计，以降低颗粒物和保持稳定的反射率，使颗粒计数保持在Class 1–100洁净室所需的水平。即使在24/7操作下，输出重复性超过5000小时，强度漂移小于5%。</p>