http://ir-heat-fire.com/zh/tags/%E6%88%BF%E9%97%B4%E8%AE%AE%E9%99%A2%E5%95%86%E4%BC%9A/ Recent content in 房间；议院；商会 on Intense Infrared Heating Lamps Hugo zh Wed, 15 Jul 2026 09:53:43 +0800 http://ir-heat-fire.com/zh/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Wed, 15 Jul 2026 09:53:43 +0800 http://ir-heat-fire.com/zh/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-fire.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="真空腔体红外加热器"></p> <h2 id="防止真空室过热">防止真空室过热</h2> <p>如果您曾经在真空室内加热晶圆或基片，那么您一定了解其中的不便之处。最麻烦的问题就是热量积聚现象。</p> <p>普通的红外灯其实只是向各个方向散发能量的灯泡而已。在空间有限的半导体生产环境中，这显然是个问题——真空室的墙壁会吸收掉所有这些多余的能量。很快，真空室的内壁就会过热，进而导致设备变形，甚至可能伤到操作人员。</p>