能源 on Intense Infrared Heating Lamps

节能晶圆加热器

Thu, 23 Jul 2026 11:31:32 +0800

在半导体工厂中减少碳排放：为何红外加热是最佳选择？
如果我们真想要实现半导体工厂的碳中和目标，就必须停止能源的浪费。而造成能源浪费的最大原因，就是我们用来加热晶圆的那种加热方式。

大多数传统的电阻式加热器其实就相当于整个机器的“空间加热器”。它们会将热量散发出去，浪费大量电能。因此，我们现在改用短波红外线灯。这样的加热方式能够直接将能量传递给晶圆，既快速又高效，而且不会浪费能源。

节能型半导体加热器

Wed, 15 Jul 2026 09:47:21 +0800

在半成品加工过程中减少碳排放：为何红外灯是最佳选择
说实话，传统的电阻式加热器非常耗能。在晶圆开始受热之前，它们就已经浪费了大量电能来加热腔室内的空气。这种做法效率极低。在当今人们都在努力实现碳减排目标的情况下，这显然是不明智的。

工厂干燥系统的能源审计

Mon, 13 Jul 2026 14:25:24 +0800

防止碎屑飞溅：确保光源故障时生产环境依然清洁

在高负载的生产环境中，如果光源发生故障，那可不只是麻烦事——那简直就是一场灾难。一旦石英外壳破裂，玻璃碎片和灰尘就会飞溅到晶圆上，导致整批产品报废。这时，就需要对整个生产线进行彻底清洗，同时还会浪费大量时间。这无疑是个令人头疼的问题。

因此，我们在设计红外灯时，会充分考虑各种可能发生的状况。我们会选用优质材料，并配备相应的保护装置，以确保玻璃碎片不会飞溅出来。

应对高温问题
当处理高负载任务时，温度变化会非常剧烈。如果使用的石英材料纯度不够，这种剧烈的温度变化就会导致微裂纹的产生，最终使石英外壳破裂。我们使用高纯度的熔融石英，因为它能够承受剧烈的热胀冷缩而不易破裂。不过，还需要注意功率密度与冷却效果的平衡。如果功率过高而冷却不足，灯管就会过热，从而加速灯丝的损坏，增加灯管破裂的风险。