Přestaňte hádat teplotu waferu
Pokud budujete chytrou výrobní linku, první věc, kterou musíte udělat, je opustit používání kontaktových termoelementů. Jsou prostě příliš pomalé. Navíc rozhodně nechcete riskovat kontaminaci waferu tím, že se Senzor s ním dotkne.
Proto používáme vysoce účinné infračervené systémy. Ty se nedotýkají povrchu waferu, pracují v reálném čase a poskytují přesné údaje, které potřebujete k udržení synchronizace vašich digitálních modelů.
Problémy s infračervenými senzory
Waferové nástroje se pohybují velmi rychle – mluvíme o milisekundách. Naše infračervené senzory zachycují elektromagnetické záření vycházející z waferu, ale situace není tak jednoduchá jako „připoj a používej“.
Polovodiče jsou citlivé na různé podmínky – v závislosti na hladině dopantů nebo povlacích se mění jejich emisivita. Pokud použijete standardní hodnotu 0,95, vaše měření teploty budou nepřesná. V této oblasti znamená malá odchylka zničenou várku produktů. Používáme nastavitelnou kompenzaci, abychom zajistili přesnost údajů.
Přenos dat
Chytrá výrobní linka je k ničemu, pokud data uvíznou v nějakém „úzkém místě“. Už nepoužíváme ty staré analogové signály typu 4–20 mA – to jsou již zastaralé metody. Místo toho používáme digitální rozhraní, která přenášejí syrové údaje přímo do vašeho PLC nebo MES. Díky tomu můžete sledovat teplotní rozložení na waferu ve 300 mm velikosti v reálném čase. Pokud se objeví nějaké horké místo, okamžitě ho zaznamenáte a zabráníte tak poškození waferu.
Na co si dát pozor
Není to však vždycky ideální situace. Vysokorychlostní infračervené senzory vytvářejí obrovské množství dat. Pokud šířka vaší sítě není dostatečná, dojde k zpoždění. A „data v reálném čase“ s třísekundovým zpožděním ve skutečnosti nejsou v reálném čase – jedná se spíše o historická data.
Také buďte opatrní ohledně okolního prostředí. Infračervené senzory mohou být rušeny odrazy světla od křemenných stěn uvnitř nástroje. Obvykle chráníme oblast vidění senzoru. Je to jednoduché řešení, ale zaručuje, že skutečně měříte wafer, a ne jen vnitřek komory.