Verhindern Sie, dass Ihre Ausrüstung von selbst überhitzt wird
In einer Halbleiterfabrik ist Wärme an den falschen Stellen ein echtes Problem. Wenn Sie Standard-Infrarotlampen verwenden, haben Sie vermutlich bereits dieses Problem bemerkt: Die Energie streut sich einfach überall hin. Ein großer Teil dieser „verschwendenen Wärme“ trifft direkt auf die Innenwände der Ausrüstung. Schon bald ist das Chassis so heiß, dass man es nicht mehr berühren kann – und man muss außerdem befürchten, dass der Maschinenrahmen durch die thermische Ausdehnung beschädigt wird.
Deshalb kommen hier directionale Infrarotlampen zum Einsatz.
Wie es funktioniert
Die meisten Quarzlampen strahlen Wärme in einem 360-Grad-Winkel ab. Das ist jedoch überflüssig. Wir verwenden spezielle Reflektoren sowie gefilterte Emittoren, um den Strahl genau auf das Wafer oder Substrat zu richten – und an keine anderen Stellen. Es ist ganz einfach: Wenn die Wärme nicht die Wand erreicht, bleibt diese kalt. Keine Vermutungen nötig – nur Physik.
Umsetzung in der Praxis
Das Beste daran: Diese Lampen können einfach als Ersatz für Ihre aktuellen Trocknungslampen verwendet werden. Wenn Sie den Strahl präzise steuern, müssen Sie sich nicht mehr mit dem Kühlsystem der Anlage herumschlagen. Ihr Kühlsystem muss nicht mehr so hart arbeiten. Zudem können die Bediener nun direkt neben der Maschine stehen, ohne Angst haben zu müssen, durch die heiße Außenhülle verbrannt zu werden. So wird der Arbeitsbereich sicherer.
Der Haken (denn es gibt immer einen)
Man kann diese Lampen nicht einfach anschließen und dann weggehen. Richtungsgesteuerte Beheizung erfordert Präzision. Wenn die Lampe auch nur um wenige Grad fehlerhaft ausgerichtet ist, wird das Ziel verfehlt – und es entstehen Hotspots in der Ausrüstung. Man muss daher den genauen Fokuspunkt anhand der Geometrie des Behälters bestimmen. Es braucht etwas Geduld, um das richtig hinzubekommen.
Achten Sie außerdem auf die Luftzirkulation. Wenn hoher Strom durch eine Richtungslampe fließt, wird viel Belastung auf die Elektroden ausgeübt. Wenn sie bei 100 % Leistung betrieben werden, ohne ausreichende Belüftung rund um die Lampe, verbrennen sie viel schneller, als es eigentlich nötig wäre. Sorgen Sie für eine gute Luftzirkulation – dann halten Ihre Lampen länger.