Sichere Bedingungen beim Erwärmen von Chemikalienwafern gewährleisten
Seien wir ehrlich: Das Einsatz von Infrarotlampen in Bereichen, in denen Chemikalien verwendet werden, ist im Grunde genommen wie das Spielen mit Feuer – buchstäblich. Es gibt flüchtige Dämpfe in der Luft, und es reicht schon ein einziger Funke oder eine Oberfläche, die etwas zu heiß wird, um einen Brand auszulösen. Dann haben Sie wirklich ein Problem.
Deshalb setzen wir nicht einfach eine Lampe dort ein und hoffen auf das Beste. Wir bauen unsere Infrarotlampen mit speziellen Schutzmaßnahmen, die für solche gefährlichen Umgebungen geeignet sind.
Die Wahrheit über die Sicherheitsentfernung
Wenn Menschen von „Sicherheitsentfernung“ sprechen, meinen sie meistens, dass die Komponenten nicht miteinander in Berührung kommen dürfen. Doch es geht vielmehr darum, wie die Wärme sich ausbreitet. Wenn die Lampe zu nahe an der Wafer- oder Chemikaliensurface steht, entstehen Hotspots – das ist nicht gut. Wir stellen sicher, dass der Fokuspunkt der Lampe genau richtig eingestellt ist. Dadurch bleibt die Heizelemente weit genug entfernt von den brennbaren Dämpfen, während gleichzeitig die gewünschte Temperatur auf der Wafer erreicht wird.
Schutz der Geräte – und Ihrer Gesundheit
Wir lassen niemals den Quarztiegel ungeschützt. Das bedeutet nur Probleme. Um chemische Korrosion sowie elektrische Störungen zu verhindern, verwenden wir Schutzhüllen und spezielle Abdichtungen. Das ist sozusagen ein „Schild“, der die Hochspannungskomponenten der Lampe vor dem korrosiven Luftstrom schützt. Wir verwenden Materialien, die auch den Angriffen von Reinigungsmitteln standhalten können.
Aber hier kommt das Problem: Die Abdichtungen sind oft der Ort, an dem Fehler auftreten können. Wenn eine Abdichtung versagt, dringen Dämpfe in den Elektrogehäuse ein – dadurch geht die Lampe schnell kaputt. Um das zu verhindern, verwenden wir Hochtemperatur-Dichtungen. Die funktionieren tatsächlich.
Der Kompromiss
Es gibt jedoch einen Haken: Durch die Verwendung einer Schutzhülle geht etwas von der Infrarotstrahlung verloren. Ein Teil der Wärme wird bereits vor dem Erreichen der Wafer vom Schutzmaterial aufgenommen. Das müssen Sie bei der Auswahl der Leistung berücksichtigen. Wenn Sie eine bestimmte Aufwärmzeit benötigen, sollten Sie die Leistung erhöhen, um den Verlust an Wärme auszugleichen. Stellen Sie jedoch sicher, dass Ihre Stromversorgung die zusätzliche Last bewältigen kann – sonst können die Sicherungen auslösen.