Bei der Verarbeitung von Fotolacken darf man einfach nicht mit Temperaturschwankungen während des Trocknungsprozesses spielen. Schon eine Stelle mit höherer Temperatur kann dazu führen, dass die Katalysatorschicht verschiebt sich. Eine kältere Zone wiederum führt dazu, dass nach der Entwicklung Unreinheiten entstehen. Deshalb wurde die Trockenlampe für Brennstoffzellen so konstruiert, dass sie sowohl zum Trocknen der Wafer als auch zur Aushärtung der Beschichtungen sowie zum Trocknen nach der Reinigung eingesetzt werden kann – alles in einem einzigen Gerät, das für den Einsatz in Reinräumen geeignet ist.
Was wirklich wichtig ist
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotkomponenten mit schnellem Reaktionszeiten und präziser Spektralkontrolle, damit die Temperatur genau im gewünschten Bereich bleibt. Die Homogenität der Temperatur auf der Waferoberfläche liegt bei ±0,1°C – somit erhält jede Komponente die gleiche Temperatur. Der Lämpchenkopf ist kompatibel mit Klasse 1–100; es entstehen keine Partikel durch den Heizelement, und der optische Weg ist abgeschlossen, um Kontaminationen zu vermeiden. Die Leistungsausbeute bleibt bei ±0,5%, und die Wiederholgenauigkeit wird durch eine Pyrometrie direkt auf der Substratoberfläche gewährleistet.
Warum sie in der Produktion erfolgreich ist
In der Praxis führt dies zu weniger Ausschussware aufgrund ungleichmäßiger Trocknung des Fotolacks, zu einer höheren Ausbeute bei der Aushärtung der Beschichtungen sowie zu einem schnelleren Trocknungsprozess nach der Reinigung – ohne Verfärbungen. Der Energieverbrauch sinkt, da die Lampe schnell den gewünschten Temperaturwert erreicht und diesen auch beibehält. Zudem ermöglicht das Design eine 24/7-Nutzung. Wir haben Geräte, die bereits mehr als 5.000 Stunden lang ohne mehr als 5% Leistungsverlust funktionieren – dabei bleiben die Temperaturprofile stets konstant.
Ein paar Hinweise für den Einsatz vor Ort
Die Lampe passt problemlos in Standard-Systeme ein, doch die Ausrichtung sowie die Strahlungsleistung des Substrats sind weiterhin wichtig. Für beste Ergebnisse sollte man den Temperaturwert anhand einer Wafer mit Messgeräten im eigentlichen Produktionsumfeld kalibrieren. Zudem sollten Träger und Halterungen nicht die Zielzone beschatten. Das Quarzfenster sollte wie ein Verbrauchsmaterial behandelt werden – es muss regelmäßig gereinigt werden, um eine konstante Temperatur zu gewährleisten.