Deje de adivinar las temperaturas de sus obleas
Si está construyendo una fábrica inteligente, lo primero que debe hacer es abandonar el uso de termoparos de contacto. Son demasiado lentos. Además, lo último que quiere es arriesgarse a contaminar una oblea debido al contacto del sensor con ella.
Por eso, optamos por sistemas infrarrojos de alta eficiencia. Estos sistemas no tocan la superficie de la oblea, funcionan en tiempo real y le proporcionan los datos precisos que necesita para mantener sus “gemelos digitales” sincronizados.
La dificultad con los sensores infrarrojos
El problema es que las herramientas utilizadas para trabajar con obleas se mueven muy rápido; hablamos de milisegundos. Nuestros sensores infrarrojos detectan la radiación electromagnética emitida por la oblea, pero no es algo sencillo de manejar.
Los semiconductores son delicados: dependiendo de los niveles de dopantes o de los recubrimientos utilizados, la emisividad cambia. Si simplemente se utiliza un valor estándar de 0.95, las lecturas de temperatura serán incorrectas. En este negocio, un pequeño error puede significar la destrucción de todo un lote de obleas. Por eso, utilizamos sistemas de compensación ajustable para garantizar que las lecturas sean precisas.
Transferir los datos
Una fábrica inteligente no sirve de nada si los datos quedan atascados en algún punto del sistema. Ya dejamos atrás those viejos sistemas analógicos de 4-20 mA. Ahora utilizamos interfaces digitales que transmiten directamente los datos de temperatura a su PLC o MES. De esta manera, puede monitorear la uniformidad térmica de una oblea de 300 mm mientras esto ocurre. Si aparece algún punto caliente, podrá detectarlo y solucionarlo antes de que la oblea se dañe.
Algunos puntos a tener en cuenta
No todo es perfecto. La detección infrarroja a alta velocidad genera grandes cantidades de datos. Si ancho de banda de su red no es suficiente, habrá retrasos en la transmisión de datos. Y datos en tiempo real con un retraso de tres segundos ya no son realmente en tiempo real… son simplemente datos históricos.
También tenga cuidado con su entorno. Los sensores infrarrojos pueden confundirse debido a los reflejos en las paredes de cuarzo de la herramienta. Por lo general, protegemos el campo de visión del sensor. Es una solución sencilla, pero asegura que realmente esté leyendo los datos de la oblea y no solo los datos provenientes del interior de la cámara.