دیگر نیازی نیست درباره دمای ویفرها حدس بزنید!
اگر قصد ساخت یک کارخانه هوشمند را دارید، اولین کاری که باید انجام دهید، استفاده از ترموکپلهای معمولی را کنار گذاشتن است؛ زیرا سرعت عمل آنها بسیار کم است. علاوه بر این، آخرین چیزی که میخواهیم، این است که ویفر مورد آلودگی قرار بگیرد؛ چون سنسورهای معمولی با ویفر تماس پیدا میکنند.
به همین دلیل، ما از سیستمهای مادون قرمز با کارایی بالا استفاده میکنیم. این سیستمها با سطح ویفر تماس ندارند، به صورت لحظهای کار میکنند، و دادههای دقیقی را در اختیار شما قرار میدهند تا بتوانید اطلاعات مربوط به ویفرها را به درستی مدیریت کنید.
مشکلات مربوط به سیستمهای مادون قرمز
ویفرها با سرعت بالایی حرکت میکنند؛ یعنی در مقیاس میلیثانیهها. سنسورهای مادون قرمز، تشعشعات الکترومغناطیسی ساطع شده از ویفر را ثبت میکنند، اما این کار به سادگی انجام نمیشود.
نیمههادیها بسیار حساس هستند؛ بسته به میزان مواد افزودنی یا لایههای روی سطح ویفر، میزان تشعشعات تغییر میکند. اگر فقط از مقدار استاندارد ۰.۹۵ استفاده کنید، اطلاعات دمایی شما نادرست خواهد بود. در این صنعت، حتی کمترین انحراف در اطلاعات، میتواند باعث خراب شدن تمام محصولات شود. ما از روشهای تصحیحی برای اطمینان از صحت اطلاعات استفاده میکنیم.
انتقال دادهها
یک کارخانه هوشمند بیفایده است اگر دادهها در مسیر انتقال گیر کنند. ما از سیستمهای آنالوگ قدیمی ۴-۲۰ میلیآمپر استفاده نمیکنیم؛ زیرا آنها منسوخ شدهاند.
در عوض، از رابطهای دیجیتالی استفاده میکنیم که دادههای مربوط به دمای ویفر را مستقیماً به سیستمهای PLC یا MES ارسال میکنند. این کار به شما امکان میدهد تا یکپارچگی دمایی ویفر را در حین کار مشاهده کنید. اگر نقطههای گرمی وجود داشته باشد، میتوانید آنها را قبل از اینکه ویفر آسیب ببیند، شناسایی کنید.
نکاتی که باید در نظر گرفت
البته، همه چیز آسان نیست. سنسورهای مادون قرمز، مقدار زیادی داده تولید میکنند؛ اگر پهنای باند شبکه شما کافی نباشد، دچار تأخیر خواهید شد. دادههای «لحظهای» با تأخیر سه ثانیهای، در واقع دادههای لحظهای نیستند؛ بلکه فقط اطلاعات تاریخی هستند.
همچنین، باید مراقب محیط اطراف باشید؛ سنسورهای مادون قرمز ممکن است تحت تأثیر بازتابهای نوری از دیوارهای کوارتزی داخل دستگاه قرار بگیرند. ما معمولاً میدان دید سنسور را محافظت میکنیم؛ این روش ساده است، اما اطمینان میدهد که شما واقعاً دمای ویفر را اندازهگیری میکنید، نه فقط سطح داخلی دستگاه.