در کارخانههای تولید فوتورزیست، اشتباهات کوچک در فرآیندهای پردازش فوتورزیست، پیامدهای جدی دارند. تغییر ۱ درجه سانتیگراد در دمای حرارتدهی میتواند باعث تغییر ابعاد مهم قطعات شود؛ همچنین وجود ذرات ناخواسته میتواند کل محموله را بیفایده کند. ما لامپهای گرمایشی مورد استفاده در این دستگاهها را طوری طراحی کردهایم که این نوسانات را کاهش دهند.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟
این لامپها از عناصر هالوژنی با طول موج کوتاه درون پوششهای کوارتزی با خلوص بالا استفاده میکنند؛ بنابراین واکنش آنها سریع بوده و کنترل دمایی نیز دقیق است. در سراسر سطح ویفر، یکنواختی دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ همچنین تکرارپذیری عملکرد لامپها نیز یکنواخت است. این طراحی باعث میشود که نوسانات دمایی به صفر برسد؛ همچنین این لامپها مناسب برای اتاقهای تمیز از کلاس ۱ تا کلاس ۱۰۰ هستند. خروجی این لامپها در طول بیش از ۵۰۰۰ ساعت کاری، کمتر از ۵٪ کاهش مییابد؛ بنابراین میتوان از آنها برای کار ۲۴/۷ استفاده کرد.
چرا این لامپها در فرآیند لیتوگرافی عملکرد خوبی دارند؟
در خطوط لیتوگرافی، این لامپها کنترل دمایی فرآیند حرارتدهی فوتورزیست را تضمین میکنند؛ این امر باعث کاهش نوسانات در عرض خطوط تولید و کاهش نیاز به تمیزکاری میشود. کنترل دقیق دما امکان کوتاه کردن زمان حرارتدهی را فراهم میکند؛ در نتیجه، بهرهوری افزایش یافته و مصرف انرژی کاهش مییابد. همچنین، این لامپها باعث افزایش بازدهی تولید و کاهش نیاز به بازسازی قطعات میشوند. فرمت کوارتزی این لامپها نیز با سیستمهای استاندارد سازگار است؛ بنابراین تغییرات لازم برای استفاده از آنها بسیار کم است.
جزئیات عملی که باید در نظر گرفته شوند:
برای نصب این لامپها، باید ولتاژ، نوع کانکتور و ابعاد لامپها را با دستگاه مورد استفاده هماهنگ کرد. همچنین، باید پروفایل دمایی لامپها را با ویژگیهای فوتورزیست مورد استفاده مطابقت داد؛ زیرا لایههای نازک میتوانند باعث تغییرات در جذب نور شوند. این لامپها در برابر ضربات مکانیکی حساس هستند؛ بنابراین باید آنها را به خوبی نصب کرد. شروع کار با لامپها در دمای پایین، میتواند باعث تغییرات کوچکی در دما شود؛ بنابراین باید الگوهای حرارتی مناسبی برای جبران این تغییرات در نظر گرفته شود. همچنین، تنظیم صحیح لامپها باعث میشود که نقاط گرم در سراسر ویفرها وجود نداشته باشد؛ در نتیجه، یکنواختی دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود.