Arrêtez de deviner les températures des wafers
Si vous construisez une usine intelligente, la première chose à faire est d’abandonner les thermocouples à contact. Ils sont simplement trop lents. De plus, vous ne voulez certainement pas risquer de contaminer le wafer en ayant recours à un capteur qui le touche.
C’est pourquoi nous utilisons des systèmes infrarouges à haute efficacité. Ils ne touchent pas la surface du wafer, fonctionnent en temps réel et fournissent les données nécessaires pour maintenir vos modèles numériques en synchronisation.
Les défis liés aux capteurs infrarouges
Le problème, c’est que les outils utilisés pour manipuler les wafers bougent très rapidement – il s’agit de millisecondes. Nos capteurs infrarouges captent les rayonnements électromagnétiques émis par le wafer, mais ce n’est pas si simple.
Les semi-conducteurs sont très sensibles : en fonction des niveaux de dopage ou des revêtements utilisés, leur émissivité change. Si vous utilisez simplement une valeur par défaut de 0,95, vos mesures de température seront erronées. Or, dans cette industrie, une petite erreur peut entraîner la destruction d’un lot entier. Nous utilisons donc des systèmes de compensation ajustables pour garantir que les données soient exactes.
Transférer les données rapidement
Une usine sophistiquée est inutile si les données restent bloquées dans des obstacles logistiques. Nous avons abandonné ces anciens systèmes analogiques basés sur des signaux 4-20 mA. Ce ne sont que des reliques du passé.
À la place, nous utilisons des interfaces numériques qui transmettent directement les données thermiques vers votre PLC ou votre MES. Cela vous permet de surveiller l’uniformité thermique du wafer en temps réel. Si un point chaud apparaît, vous pouvez le détecter et l’éliminer avant que le wafer ne soit endommagé.
Quelques points importants à garder à l’esprit
Ce n’est pas toujours rose. La détection infrarouge à haute vitesse génère une quantité enorme de données. Si la bande passante de votre réseau n’est pas suffisante, vous rencontrerez des retards. Et des données en temps réel avec un retard de trois secondes ne sont pas vraiment en temps réel – ce ne sont que des données historiques.
De plus, faites attention à l’environnement autour de vous. Les capteurs infrarouges peuvent être perturbés par les reflets provenant des murs en quartz à l’intérieur de l’outil. Nous protégeons généralement le champ de vision du capteur. C’est une solution simple, mais elle garantit que vous mesurez bien la température du wafer, et non celle de l’intérieur de la chambre.