בחדרי הליתוגרפיה, שינוי של 1 מעלה צלזיוס במהלך תהליך החימום יכול לגרום לשינוי ברמת הפוטורזיסט בגודל של ננומטרים – ושינוי זה מתבטא ישירות כשגיאה באיכות המוצר. אנו עוצבנו את מערכות החימום שלנו כך שיתמודדו עם מציאות זו, ולא ינסו להתמודד איתה. כיצרנים של מערכות חימום בסין, אנו שולחים מודולים תרמיים שמאפשרים שמירה על אחידות בטמפרטורה ברמה של ±0.1 מעלות צלזיוס על כל שטח החימום, כך שהממדים הקריטיים של השבב נשארים תחת שליטה.
מה חשוב באמת? אנו משתמשים בגלי אינפרא-אדום קצרים, עם גופי פלט מסוג קוורץ-הלוגן. החימום קורה במהירות ובצורה יעילה, והמסה הנמוכה של גופי הפלט מאפשרת לטמפרטורה להגיע לרמה הרצויה במהירות. בקרה במעגל סגור שומרת על הטמפרטורה בטווח הרצוי, באמצעות חיישנים מדויקים שעומדים בסטנדרטים של NIST. רמת החזרה על אותו תהליך היא ±0.2 מעלות צלזיוס.
המוצרים שלנו עשויים מחומרים בעלי טוהר גבוה, והחיבורים ביניהם נעשים באמצעות ריתוך, כדי למנוע פליטת גזים וייצור חלקיקים. כך, המוצרים שלנו עומדים בדרישות של חדרי עבודה נקיים מסוג Class 1–100. צפיפות האנרגיה מותאמת לצרכים של גלגלי השבב והלוחות החמים, ואנו מציעים אפשרויות של מתח וממדים שתואמים את הציוד הנפוץ של היצרנים האחרים.
למה זה חשוב בייצור? תהליך עיבוד הפוטורזיסט – החימום הרכה, החימום הקשה והטיפול לאחר החימום – תלוי באחידות הטמפרטורית. מערכות החימום שלנו מגיעות לטמפרטורה הרצויה במהירות, מונעות עליות יתר בטמפרטורה, ושומרות על אחידות בטמפרטורה בכל שטח השבב. ניתן למדוד את התוצאות: חלוקה טובה יותר של הממדים הקריטיים, פחות צורך בעבודה חוזרת, ותפוקה צפויה.
שימוש באנרגיה פוחת, מכיוון שהמערכת מחממת רק כשיש צורך בכך, וקוררת במהירות. האמינות של המערכת גבוהה, והיא יכולה לפעול 24/7, עם פחות הפסקות בלתי צפויות.
מה צריך לעשות כדי שהכל יעבוד כראוי? ההתקנה תלויה באיכות החיבורים התרמיים: שטח המגע, הלחץ והאמידות של גופי הפלט. אפילו פער אוויר קטן יכול לגרום לחוסר אחידות בטמפרטורה.
יש לבצע בדיקה ראשונית כדי לוודא שהטמפרטורה תואמת את הפרוטוקול של התהליך, ולאחר מכן לקבע את ההגדרות הנכונות. המערכת תפעל כראוי – אך רק אם ניתן להתייחס לחיבורים המכניים כחלק מהמערכת התרמית, ולא כדבר שניתן להתעלם ממנו.