על הקו, חזרתיות של חימום פוטורזיסט היא הבסיס - אין מקום לטעויות. כמה מעלות של סטיית טמפרטורה ברחבי השכבה ואתה מדפיס שגיאת רוחב קו של 0.1 μm, ואז רואה את זה מצטבר בכל שכבת ליתוגרפיה. בנינו את המשקף שלנו עבור מנורות חימום לשכבות כדי לחסל את השונות הזו. הוא מעצב את האינפרא אדום לשדה תרמי יציב, תת-מילימטרי, כך שהחימום הרך והחימום הקשה שלך נשארים בתקן, מקבוצה לקבוצה.
מה שחשוב, טכנית
המשקף הזה מכוון למסירה של NIR עם שליטה זוויתית צמודה, ממפה את העוצמה ל±0.1°C ברחבי המשטח. הגיאומטריה אופטימלית לאחידות, ולא לזרם פPeak, כי חימום הפוטורזיסט חי ונע לפי תקציב תרמי עקבי. השטח מעוצב כדי להיות עם חלקיקים נמוכים ועם החזר יציב, שומר על ספירת חלקיקים היכן שהיא צריכה להיות בחדרים נקיים בדרגת Class 1–100. וחזרתיות הפלט שומרת על יותר מ-5,000 שעות, עם פחות מ-5% סטיית עוצמה גם תחת פעולה 24/7.
הנה למה זה עובד היכן שאתה מפעיל את זה.
אתה דוחף שכבות דרך הליתוגרפיה, ואז על לוחות חימום היכן שהזמן, הטמפרטורה והאחידות קובעים את המידות הקריטיות. המשקף קובע את הפרופיל התרמי של המנורה, מפחית נקודות חמות וגלישה מהקצה שמניעים מידות קריטיות לא אחידות ולכלוך. התוצאה היא אחידות גבוהה יותר ברחבי השכבה, פחות תיקונים, ותשואה שאתה יכול לתכנן סביבה. אתה גם חוסך אנרגיה, כי המערכת מגיעה למינון התרמי הנדרש בלי לעבור - מפחיתה את העלות הניהולית לכל שכבה.
כמה הערות מהשטח.
המשקף נכנס למחזיקים של מנורות חימום סטנדרטיות, אבל סובלנות הכיוונון היא צמודה - סטיות תת-מילימטריות ישנו את מפת האחידות. התקן את זה עם הליך מבוקר ונעל את זה כחלק מהתחזוקה המונעת שלך. חיי המשקף תלויים גם בטמפרטורת הפעולה ובסביבת החדר הנקי; חשיפה לאדים של ממסים כבדים תקצר את חיי הציפוי. קבע את לוחות הזמנים להחלפה כדי להתאים ליעדי זמני הפעולה שלך, ולא תופתע בקו.