अपने वेफर के तापमान का अनुमान लगाना बंद करें।
यदि आप एक “स्मार्ट फैब” बना रहे हैं, तो सबसे पहले आपको कॉन्टैक्ट थर्मोकपलों का उपयोग बंद करना होगा। ऐसे सेंसर बहुत धीमे काम करते हैं। इसके अलावा, आप तो यह भी नहीं चाहेंगे कि आपके सेंसर के कारण वेफर प्रदूषित हो जाए।
इसीलिए हम उच्च-दक्षता वाले इन्फ्रारेड (IR) सिस्टमों का उपयोग करते हैं। ऐसे सेंसर वेफर की सतह को छूते ही नहीं, बल्कि वास्तविक समय में ही काम करते हैं। इनसे आपको वह डेटा मिलता है जिसकी आपको आवश्यकता है, ताकि आप अपने “डिजिटल ट्विन” को सही ढंग से संचालित कर सकें।
इन्फ्रारेड सिस्टमों से जुड़ी कठिनाइयाँ
वेफर-संबंधी उपकरण बहुत तेज़ गति से काम करते हैं… मिलीसेकंड के ही समय में। हमारे इन्फ्रारेड सेंसर वेफर से निकलने वाले विद्युत-चुम्बकीय विकिरण को पकड़ते हैं… लेकिन यह कोई “प्लग-एंड-प्ले” समाधान नहीं है।
सेमीकंडक्टरों की स्थिति बहुत ही संवेदनशील होती है… उपयोग किए गए डोपेंटों या कोटिंगों के आधार पर उनकी विकिरण-क्षमता भी बदल जाती है। यदि आप सिर्फ 0.95 जैसे मानों का ही उपयोग करें, तो आपके तापमान-मापन गलत हो जाएंगे। और इस व्यवसाय में थोड़ी सी गलती ही पूरे बैच को बर्बाद कर सकती है। इसलिए हम ऐसे समायोजनों का उपयोग करते हैं, ताकि मापन सही रहें।
डेटा को सही तरीके से प्राप्त करना
यदि डेटा किसी बाधा में फंस जाए, तो कोई भी उन्नत फैब बेकार ही हो जाता है। हमने उन पुराने एनालॉग 4-20mA सिस्टमों का उपयोग बंद कर दिया है… वे तो पुराने तरीके ही हैं।
इसके बजाय, हम डिजिटल इंटरफेसों का उपयोग करते हैं… जिससे कच्चा डेटा सीधे PLC/MES में पहुँच जाता है। इससे आप 300 मिमी आकार के वेफर पर तापमान-संबंधी जानकारी वास्तविक समय में ही प्राप्त कर सकते हैं। यदि कहीं गर्मी अधिक हो जाए, तो आप उसे तुरंत ही पहचान सकते हैं… ताकि वेफर नष्ट न हो जाए।
कुछ बातें जिन पर ध्यान देना आवश्यक है
हालाँकि, सब कुछ इतना आसान नहीं है… उच्च-गति वाले इन्फ्रारेड सेंसरों से बहुत सारा डेटा प्राप्त होता है। यदि आपका नेटवर्क-बैंडविड्थ पर्याप्त न हो, तो डेटा में देरी हो जाएगी। और तीन सेकंड की देरी वाला “वास्तविक-समय” डेटा तो वास्तविक-समय का डेटा ही नहीं है… यह तो बस अतीत की जानकारी ही है।
इसके अलावा, आपको अपने आसपास के वातावरण पर भी ध्यान देना होगा… इन्फ्रारेड सेंसर, उपकरणों की अंदरूनी दीवारों से आने वाले प्रतिबिंबों से प्रभावित हो सकते हैं। हम आमतौर पर सेंसर के दृष्टि-क्षेत्र को सुरक्षित रखते हैं… यह तो एक सरल समाधान ही है… लेकिन इससे आपको वास्तविक तापमान ही प्राप्त होता है… न कि केवल चैंबर के अंदरूनी हिस्से का डेटा।