फर्श पर, फोटोरेजिस्ट का तापमान केवल अंतिम थर्मल साइकल के दौरान ही स्थिर रहता है। वेफरों को ट्रॉलियों पर रखा जाता है, और तापमान में होने वाले हर छोटे-से बदलाव से फोटोरेजिस्ट में आयामी त्रुटियाँ हो सकती हैं… ऐसी स्थिति में आपको इसकी कीमत उत्पादन दर में चुकानी पड़ती है। हमने इस अनिश्चितता को दूर करने हेतु सेमीकंडक्टर क्लीनरूम ट्रॉली हीटर बनाया है।
क्या महत्वपूर्ण है?
हमने क्वार्ट्ज आवरण में शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तत्वों का उपयोग किया है… जिससे त्वरित प्रतिक्रिया मिलती है, एवं गैस उत्सर्जन भी कम होता है। यह सिस्टम, ट्रॉली में रखे गए वेफरों पर तापमान को ±0.1°C की सीमा में बनाए रखता है… जबकि सेटपॉइंट की पुनरावृत्ति सटीकता ±0.5°C से भी बेहतर है। रैम्प एवं सोक प्रोफाइल हर बार समान ही रहते हैं… इससे संवेदनशील फिल्मों पर कोई नकारात्मक प्रभाव नहीं पड़ता।
हीटर में क्लास 1–100 की क्लीनरूम-अनुकूल सामग्रियों का उपयोग किया गया है… एवं वायुप्रवाह की व्यवस्था ऐसी है कि कणों का उत्पादन कम ही होता है। नियंत्रण एल्गोरिथ्म, वोल्टेज में होने वाले उतार-चढ़ाव एवं दरवाजे खुलने की स्थितियों में भी स्थिर रहता है।
लिथोग्राफी में इसका क्या उपयोग है?
लिथोग्राफी में, ट्रॉली हीटर फोटोरेजिस्ट को सही तापमान पर ही रखता है… बिना किसी अतिरिक्त/कम तापमान के। इससे निरंतर एवं सटीक नियंत्रण संभव होता है… जिससे पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है।
ऊर्जा की खपत कम करने हेतु लक्षित तापन एवं स्टैंडबाय मोड का उपयोग किया गया है… एवं 24/7 संचालन हेतु इसकी विश्वसनीयता बनी रहती है… कोई अप्रत्याशित रुकावट नहीं होती। प्रक्रिया हमेशा दस्तावेजीकृत एवं ऑडिट करने योग्य रहती है… कोई अनुमान नहीं लगाने की आवश्यकता नहीं है।
क्या योजना बनानी आवश्यक है?
इसकी स्थापना हेतु विशेष, फिल्टर्ड विद्युत आपूर्ति एवं उचित ग्राउंडिंग आवश्यक है… ताकि विद्युत स्थिरता बनी रहे। जब क्लीनरूम का तापमान 20–25°C एवं आर्द्रता 35–55% रहती है, तब ही हीटर सही तरह से काम करता है… इस सीमा से बाहर जाने पर तापमान नियंत्रण में कठिनाई होती है।
अपने वेफर कैरियरों के साथ ट्रॉली का परीक्षण जरूर करें… एवं वायुप्रवाह की व्यवस्था ऐसी होनी चाहिए कि वह आपके फैब लेआउट के अनुरूप हो।