Mengurangi Emisi Karbon di Proses Pembuatan Semikonduktor: Mengapa IR Adalah Solusinya
Sejujurnya, oven konvensional yang menggunakan metode pemanasan resistif membutuhkan banyak energi. Energi tersebut terbuang sia-sia hanya untuk memanaskan udara di dalam ruang oven, padahal wafer belum merasakan efek pemanasan tersebut. Hal ini sangat tidak efisien. Di dunia di mana kita semua berusaha mencapai target pengurangan emisi karbon, hal ini tentu bukan pilihan yang bijaksana.
Itulah mengapa kami memilih menggunakan lampu inframerah berfrekuensi rendah. Alih-alih memanaskan seluruh ruangan, energi tersebut dialirkan langsung ke wafer. Dengan demikian, pemanasan lebih efektif.
Cara kerja panas tersebut
Bayangkanlah diri Anda berdiri di bawah sinar matahari pada hari yang dingin. Anda akan merasakan kehangatan di kulit Anda, meskipun suhu udara di sekitar Anda sangat rendah. Itulah contoh panas radiatif. Karena kita tidak perlu memanaskan udara di sekitar wafer, sistem HVAC di ruang produksi pun tidak perlu bekerja keras untuk menjaga suhu tetap stabil. Dengan demikian, waktu yang diperlukan untuk memanaskan wafer berkurang, dan konsumsi energi juga berkurang. Kami telah meluangkan banyak waktu untuk memastikan bahwa panas tersebut sampai tepat ke wafer, bukan ke bagian lain dari mesin.
Bagian yang sulit (dan cara mengatasinya)
Namun, hal ini bukanlah sesuatu yang bisa dilakukan secara sederhana. Anda perlu berhati-hati dengan intensitas energi yang digunakan. Jika daya yang digunakan terlalu tinggi atau jarak antara lampu dan wafer terlalu dekat, maka akan muncul titik-titik panas yang berbahaya. Tidak ada yang ingin hal tersebut terjadi. Hal ini akan memberikan tekanan termal yang berlebihan pada wafer.
Rahasianya adalah penggunaan kontroler PID yang tepat. Kontroler ini memastikan suhu tetap stabil dan mencegahnya melebihi batas yang ditentukan. Memang diperlukan sedikit penyesuaian, tetapi setelah itu semuanya akan berjalan lancar.
Mengurangi Jejak Karbon Anda
Yang terbaik adalah dampak positifnya terhadap jejak karbon Anda sangat cepat terasa. Dengan pemanas konvensional, dibutuhkan waktu yang lama untuk memanaskan wafer, sehingga energi terbuang sia-sia. Namun, lampu inframerah tidak seperti itu. Pemanasan dilakukan secara instan. Anda hanya perlu menyalakan lampu, wafer akan langsung dipanaskan, dan Anda dapat mematikan lampu begitu proses pemanasan selesai. Tidak ada pemborosan energi. Ini merupakan cara sederhana untuk mencapai netralitas karbon, tanpa menghambat proses produksi atau merusak kualitas produk.