Hentikan kebiasaan menebak suhu wafer secara acak
Jika Anda sedang membangun pabrik pencetakan semikonduktor yang canggih, hal pertama yang perlu Anda lakukan adalah menghilangkan penggunaan termokopel konvensional. Alat tersebut terlalu lambat dalam mendeteksi suhu. Selain itu, Anda tentu tidak ingin risiko kontaminasi pada wafer akibat sentuhan sensor tersebut.
Itulah sebabnya kita menggunakan sistem inframerah yang efisien. Sistem ini tidak menyentuh permukaan wafer, bekerja secara real-time, dan memberikan data yang akurat sehingga memungkinkan kita untuk menjaga keseimbangan kondisi wafer tersebut.
Kendala menggunakan sistem inframerah
Masalahnya adalah alat-alat yang digunakan untuk memproses wafer bergerak dengan sangat cepat—dalam hitungan milidetik. Sensor inframerah memang dapat mendeteksi radiasi elektromagnetik yang berasal dari wafer, tetapi prosesnya bukanlah sesuatu yang sederhana.
Semikonduktor memiliki karakteristik yang rumit. Tergantung pada tingkat dopan atau lapisan pelindung yang digunakan, nilai emisi panasnya akan berubah. Jika Anda hanya menggunakan nilai standar 0,95, maka hasil pengukuran suhu akan salah. Dalam bisnis ini, kesalahan kecil saja bisa berakibat fatal. Kita menggunakan metode kompensasi yang dapat disesuaikan agar data yang diperoleh benar-benar akurat.
Mengirimkan data dengan cepat
Pabrik yang canggih pun tak akan berguna jika data yang dihasilkan tertahan di titik-titik tertentu. Kita sudah meninggalkan sistem analog 4-20mA yang ketinggalan zaman. Sebaliknya, kita menggunakan antarmuka digital yang memungkinkan data termal dikirim langsung ke PLC atau MES. Dengan cara ini, Anda dapat melihat tingkat keseragaman suhu pada wafer selama proses produksi berlangsung. Jika ada bagian wafer yang terlalu panas, Anda akan segera mengetahuinya dan mengatasinya sebelum wafer rusak.
Beberapa hal yang perlu diperhatikan
Tidak semuanya mudah. Penggunaan sensor inframerah berkecepatan tinggi akan menghasilkan banyak sekali data. Jika bandwidth jaringan Anda tidak cukup, maka akan terjadi keterlambatan dalam pengiriman data. Data yang dikirim setelah tiga detik keterlambatan bukanlah data yang “real-time”—itu hanyalah data historis saja.
Selain itu, berhati-hatilah dengan lingkungan sekitar. Sensor inframerah bisa terganggu oleh pantulan cahaya dari dinding kuarsa di dalam alat tersebut. Kami biasanya melindungi bidang pandang sensor tersebut. Ini merupakan solusi sederhana, tetapi efektif untuk memastikan bahwa data yang diperoleh berasal dari wafer itu sendiri, bukan dari bagian dalam ruangan tersebut.