Berhenti meneka suhu wafer anda
Jika anda ingin membina fasiliti pengeluaran semikonduktor yang canggih, perkara pertama yang perlu dilakukan ialah menghilangkan penggunaan termokopel konvensional. Alat tersebut terlalu lambat untuk memberikan maklumat yang tepat. Selain itu, kita tidak mahu risiko wafer tercemar kerana sensor tersebut menyentuh permukaan wafer tersebut.
Itulah sebabnya kita menggunakan sistem inframerah yang efisien. Sistem ini tidak menyentuh permukaan wafer, ia berfungsi secara masa nyata, dan memberikan data yang tepat yang diperlukan untuk memastikan sistem digital berkaitan berfungsi dengan baik.
Cabaran menggunakan sistem inframerah
Masalahnya ialah alat-alat yang digunakan untuk memproses wafer bergerak dengan sangat cepat—dalam masa milisaat sahaja. Sensor inframerah dapat mengesan radiasi elektromagnetik yang dipancarkan oleh wafer, tetapi ia bukanlah penyelesaian yang mudah.
Semikonduktor sangat sensitif. Bergantung pada tahap bahan tambahan atau lapisan pelindung yang digunakan, nilai emisi akan berubah. Jika kita menggunakan nilai standard sebanyak 0.95, bacaan suhu yang diperolehi akan salah. Dalam industri ini, sedikit saja kesilapan boleh merosakkan seluruh produk yang dihasilkan. Oleh itu, kita menggunakan kaedah pembetulan yang sesuai untuk memastikan bacaan suhu yang diperolehi adalah tepat.
Menghantar data dengan cepat
Fasiliti pengeluaran yang canggih tidak akan berguna jika data tertahan dalam proses penghantaran. Kita sudah meninggalkan cara lama menggunakan isyarat analog 4-20mA. Sebaliknya, kita menggunakan antaramuka digital yang memindahkan data suhu secara langsung ke PLC atau MES. Dengan cara ini, kita dapat melihat ketaksamaan suhu pada wafer 300mm secara masa nyata. Jika terdapat kawasan yang terlalu panas, kita dapat mengatasinya sebelum wafer rosak.
Beberapa perkara yang perlu diperhatikan
Namun, segalanya tidaklah semudah itu. Penggunaan sensor inframerah yang berkelajuan tinggi akan menghasilkan banyak data. Jika lebar jalur rangkaian tidak mencukupi, data akan tertunda. Data yang diterima setelah tiga saat tertunda bukanlah data masa nyata—ia hanyalah data sejarah sahaja.
Selain itu, berhati-hatilah dengan persekitaran sekeliling. Sensor inframerah boleh terganggu oleh pantulan cahaya dari dinding kuarsa di dalam alat tersebut. Kita biasanya melindungi kawasan pandangan sensor tersebut. Ini merupakan cara yang mudah untuk memastikan kita benar-benar membaca suhu wafer, bukan hanya suhu di dalam bilik tersebut.