Tijdens het verhitten van de fotoresist mag er geen sprake zijn van temperatuurverschillen. Eén plek met een hogere temperatuur kan al voldoende zijn om de katalysatorlaag te verstoren. Een koude plek kan weer leiden tot problemen na het ontwikkelen. Daarom is de lamp voor het drogen van de katalysator gemaakt voor gebruik op de productievloer: het drogen van de wafers, het verhitten tijdens de lithografieprocesen, het drogen van de producten na het reinigen – alles gebeurt in één enkele, geschikte apparatuur voor gebruik in een schone ruimte.
Wat belangrijk is onder de motorkap
We gebruiken kortegolflengte-infraroodelementen met een snelle reactietijd en nauwkeurige spectrale controle. Hierdoor kan de temperatuur precies worden gereguleerd. De uniformiteit van de temperatuur blijft op ±0,1°C, zodat elke chip dezelfde thermische behandeling krijgt. De lamp is compatibel met Class 1–100, er wordt geen stof gegenereerd door de verwarmingselementen en de optische weg is afgesloten om contaminatie te voorkomen. De energiestroom blijft binnen ±0,5% en de reproduceerbaarheid wordt gewaarborgd door pyrometrie rechtstreeks op het substraat.
Waarom deze lamp geschikt is voor productie
In de praktijk leidt dit tot minder defecte producten als gevolg van ongelijke temperaturen tijdens het verhitten van de fotoresist. Ook wordt de productiviteit verbeterd tijdens het drogen na het reinigen. De energieverbruik daalt omdat de lamp snel de gewenste temperatuur bereikt en deze behoudt. Bovendien kan de lamp 24/7 worden gebruikt. We hebben apparaten die meer dan 5.000 uur lang werken zonder dat het rendement minder wordt dan 5%. De temperatuurprofielen blijven consequent.
Nog wat tips voor de productienvloer
De lamp past gemakkelijk samen met standaardapparatuur, maar het is nog steeds belangrijk om de richting van de lamp en de emissiviteit van het substraat goed te bepalen. Voor de beste resultaten moet de temperatuur worden gekalibreerd met behulp van een gemeten wafer in de echte productieruimte. Zorg er ook voor dat de drager en andere componenten de gewenste zone niet verstoren. Behandel het kwartsvenster alsof het een vervangbaar onderdeel is: reinig het regelmatig om de uniformiteit te behouden en afwijkingen te voorkomen.