Stop met gokken over de temperatuur van uw wafers
Als u een ‘Smart Fab’ wilt bouwen, is het eerste wat u moet doen: stoppen met het gebruik van contactthermocoupons. Ze zijn gewoon te traag. Bovendien wilt u natuurlijk voorkomen dat uw sensor de wafer besmet, omdat deze in contact komt met de wafer zelf.
Daarom maken we gebruik van zeer efficiënte infraroodsystemen. Ze raken de oppervlakte van de wafer niet aan, werken in real-time en leveren de gegevens die nodig zijn om uw digitale dubbelgangers op synchroon te houden.
De uitdagingen met infraroodtechnologie
Wat problematisch kan zijn: de gereedschappen voor het bewerken van wafers bewegen zich zeer snel – het gaat om milliseconden. Onze infraroodsensoren vangen de elektromagnetische straling op die van de wafer afkomstig is, maar dit is geen eenvoudige oplossing.
Halfgeleiders zijn gevoelig voor verschillende factoren: de hoeveelheid dopanten of de coating die wordt gebruikt, heeft invloed op de emissiviteit. Als u simpelweg een standaardwaarde van 0,95 gebruikt, zullen de temperatuurstellingen incorrect zijn. In deze branche betekent een kleine afwijking dat de productie verpest wordt. We gebruiken dus instelbare compensaties om er zeker van te zijn dat de gegevens nauwkeurig zijn.
Het verzenden van gegevens
Een moderne fabriek is nutteloos als de gegevens vastlopen in bepaalde processen. We hebben die oude analogen 4-20mA-signalen achter ons gelaten; ze zijn verouderd. In plaats daarvan gebruiken we digitale interfaces die de gegevens rechtstreeks naar het PLC of MES sturen. Hierdoor kunt u de thermische uniformiteit van een 300mm-wafer in de gaten houden terwijl dit gebeurt. Als er een hotspot ontstaat, ziet u dit meteen en kunt u dit voorkomen voordat de wafer beschadigd raakt.
Dingen waar u op moet letten
Het is niet altijd eenvoudig. Het gebruik van hoogwaardige infrarodingsensoren levert veel gegevens op. Als uw netwerkbandbreedte niet voldoende is, zal er vertraging optreden. En gegevens die met een vertraging van drie seconden worden verzonden, zijn geen echt ‘real-time’ gegevens – het zijn eerder historische gegevens.
Let ook goed op de omgeving. Infraroodsensoren kunnen worden beïnvloed door reflecties van de kwartswanden in het apparaat. We beschermen meestal het zichtveld van de sensor. Het is een simpele oplossing, maar het zorgt er wel voor dat u echt de wafer registreert en niet alleen de binnenkant van de kamer.