Pare de adivinhar as temperaturas da sua wafer
Se você está construindo uma fábrica inteligente, a primeira coisa que precisa fazer é abandonar o uso de termopares convencionais. Eles são muito lentos. Além disso, o último coisa que se quer é correr o risco de contaminar a wafer, já que o sensor pode entrar em contato com ela.
É por isso que utilizamos sistemas infravermelhos de alta eficiência. Eles não entram em contato com a superfície da wafer, funcionam em tempo real e fornecem os dados precisos necessários para manter os “gêmeos digitais” sincronizados.
Os desafios dos sensores infravermelhos
Os equipamentos usados para manipular as wafers se movem rapidamente – estamos falando de milissegundos. Nossos sensores infravermelhos captam a radiação eletromagnética emitida pela wafer, mas não é uma solução simples.
Os semicondutores são delicados. Dependendo dos níveis de dopagem ou dos revestimentos utilizados, a emissividade muda. Se você usar um valor padrão de 0,95, suas leituras de temperatura estarão incorretas. E, neste setor, até mesmo um pequeno desvio pode causar problemas graves. Por isso, usamos compensações ajustáveis para garantir que os números sejam precisos.
Transmitindo os dados
Uma fábrica inteligente é inútil se os dados ficarem presos em gargalos. Já deixamos para trás aqueles sistemas analógicos de 4-20mA. Eles são obsoletos.
Em vez disso, utilizamos interfaces digitais que transmitem diretamente os dados para o PLC ou MES. Isso permite que você monitore a uniformidade térmica da wafer em tempo real. Se houver algum ponto quente, você poderá identificá-lo e eliminá-lo antes que a wafer seja danificada.
Algumas coisas a considerar
Mas nem tudo é fácil. A detecção infravermelha de alta velocidade gera grandes volumes de dados. Se a largura de banda da sua rede não for suficiente, haverá atrasos. E dados “em tempo real” com um atraso de três segundos não são realmente em tempo real – são apenas informações históricas.
Além disso, tenha cuidado com o ambiente ao redor. Os sensores infravermelhos podem ser afetados pelos reflexos nas paredes de quartzo dentro do equipamento. Geralmente, protegemos o campo de visão do sensor. É uma solução simples, mas garante que você esteja realmente medindo a wafer e não apenas o interior da câmara.