บนพื้นผิว ความเสถียรของสารโฟโตเรซิสต์ขึ้นอยู่กับค่าอุณหภูมิในแต่ละรอบการทำความร้อน วัตถุดิบจะถูกวางไว้บนรถเข็น และทุกนาทีที่อุณหภูมิเปลี่ยนแปลง ก็อาจส่งผลให้เกิดข้อผิดพลาดในขนาดของสารโฟโตเรซิสต์ได้ ซึ่งจะส่งผลเสียต่อประสิทธิภาพการผลิต เราจึงออกแบบเครื่องทำความร้อนสำหรับห้องปลอดเชื้อ เพื่อขจัดความไม่แน่นอนนี้ออกไป
สิ่งที่สำคัญภายในเครื่อง
เราใช้ชิปอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นที่อยู่ภายในฝาครอบควอตซ์ ซึ่งช่วยให้เครื่องตอบสนองได้เร็ว และมีการปล่อยก๊าซออกมาน้อย ระบบนี้สามารถรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิได้ในช่วง ±0.1°C สำหรับวัตถุดิบที่อยู่บนรถเข็น และมีความแม่นยำในการตั้งค่าอุณหภูมิมากกว่า ±0.5°C นอกจากนี้ รูปแบบการเพิ่ม/ลดอุณหภูมิยังสามารถทำซ้ำได้ในแต่ละครั้ง ทำให้ไม่เกิดความเสียหายกับฟิล์มที่มีความไวต่ออุณหภูมิ
เครื่องทำความร้อนนี้ใช้วัสดุที่เหมาะสมสำหรับห้องปลอดเชื้อ และมีการออกแบบระบบการไหลของอากาศเพื่อลดการเกิดอนุภาคต่างๆ อัลกอริทึมการควบคุมสามารถทำงานได้อย่างมั่นคง แม้ในสภาพที่แรงดันไฟฟ้ามีการเปลี่ยนแปลง หรือเมื่อประตูเปิด
เหตุใดเครื่องนี้จึงเหมาะสำหรับการใช้งานในกระบวนการลิโธกราฟี
ในกระบวนการลิโธกราฟี เครื่องทำความร้อนนี้ช่วยรักษาอุณหภูมิของสารโฟโตเรซิสต์ให้อยู่ในระดับที่เหมาะสม โดยไม่มีการเกินหรือต่ำกว่าค่าที่กำหนด ทำให้สามารถควบคุมขนาดของวัตถุดิบได้อย่างแม่นยำ ลดจำนวนวัตถุดิบที่ต้องทำการแก้ไข และมีเวลาการผลิตที่แน่นอน
การใช้พลังงานถูกลดลงด้วยการควบคุมอุณหภูมิอย่างแม่นยำ และเครื่องนี้สามารถทำงานได้ตลอด 24/7 โดยไม่มีปัญหาด้านความน่าเชื่อถือ กระบวนการผลิตสามารถบันทึกและตรวจสอบได้ ไม่ต้องคาดเดา
สิ่งที่คุณต้องเตรียมไว้
การติดตั้งเครื่องนี้จำเป็นต้องมีแหล่งจ่ายไฟที่มีคุณภาพ และมีการต่อสายดินที่เหมาะสม เพื่อป้องกันการเกิดประจุไฟฟ้าสถิต โดยเครื่องนี้จะทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพเมื่ออุณหภูมิในห้องปลอดเชื้ออยู่ที่ 20–25°C และความชื้นอยู่ที่ 35–55% หากอุณหภูมิอยู่นอกช่วงนี้ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิก็จะลดลง
คุณควรวางแผนการทดสอบเครื่องนี้ร่วมกับตัวขนส่งวัตถุดิบ และตรวจสอบให้แน่ใจว่าระยะห่างระหว่างองค์ประกอบต่างๆ เหมาะสม เพื่อให้อากาศไหลได้อย่างเหมาะสมตามการออกแบบของโรงงาน