Як скоротити викиди вуглецю у процесі виробництва напівпровідників: чому саме інфрачервоне випромінювання є оптимальним рішенням
Будьмо чесними: традиційні нагрівачі споживають величезну кількість енергії. Вони витрачають багато енергії на нагрів повітря всередині камери, перш ніж пластина взагалі почне нагріватися. Це неефективно, а в світі, де ми всі прагнемо до скорочення викидів вуглецю, це зовсім не розумно.
Саме тому ми обрали користування лампами короткохвильового інфрачервоного випромінювання. Замість того, щоб нагрівати всю кімнату, енергія спрямовується безпосередньо на пластину. Це дає можливість ефективного нагрівання.
Як саме працює тепло
Уявіть собі ситуацію, коли ви стоїте на сонці в холодний день. Ви відчуваєте тепло на своїй шкірі, навіть якщо повітря навколо залишається холодним. Це є прикладом випромінювального тепла.
Оскільки нам не потрібно нагрівати навколишнє повітря, система кондиціонування не повинна так напружено працювати для підтримки прохолодного середовища. Це дозволяє скоротити час нагрівання та споживання енергії. Ми доклали багато зусиль, щоб тепло потрапляло саме туди, куди потрібно – у кремній, а не у корпус обладнання.
Проблеми та способи їх вирішення
Це не так просто, як здається. Потрібно уважно контролювати щільність енергії. Якщо значення потужності буде занадто високим або лампа буде знаходитися занадто близько до пластини, можуть виникнути „гарячі точки“. Ніхто не хоче цього – це створює занадто великий тепловий тиск на пластину.
Секрет полягає у правильній налаштувці контролера PID. Він забезпечує стабільну температуру та запобігає її перевищенню. Це вимагає певних налаштувань, але після цього все буде працювати без проблем.
Скорочення викидів вуглецю
Найкраще те, що вплив на викиди вуглецю є миттєвим. Зі старими нагрівачами існують тривалі періоди нагрівання, під час яких енергія просто губиться. Лампи інфрачервоного випромінювання не мають таких проблем – вони нагрівають пластину миттєво. Достатньо лише увімкнути лампу, пластина нагріється, а потім можна вимкнути її. Це простий спосіб досягнення нейтрального рівня викидів вуглецю, без уповільнення роботи обладнання чи зниження якості продукції.