Припиніть припускати температуру ваферів
Якщо ви створюєте сучасний завод з виробництва напівпровідників, перше, що потрібно зробити – це відмовитися від контактних термопар. Вони просто занадто повільні у роботі. Крім того, останнє, чого ви хочете, – це ризик забруднення вафера через дотик сенсора до неї.
Саме тому ми використовуємо високоефективні інфрачервоні системи. Вони не торкаються поверхні вафера, працюють у реальному часі та надають саме ті дані, які необхідні для підтримки синхронності „цифрових двійників“ ваферів.
Проблеми, пов’язані з використанням інфрачервоних сенсорів
Проблема полягає у тому, що пристрої для обробки ваферів працюють дуже швидко – мова йде про мілісекунди. Наші інфрачервоні сенсори фіксують електромагнітне випромінювання, яке виходить від вафера, але це не так просто, як може здатися.
Напівпровідники є дуже делікатними матеріалами. Залежно від рівня допінгу чи типу покриття, їхня емісія змінюється. Якщо ви просто встановите значення 0,95 та будете вважати, що все гаразд, ваші показники температури будуть неточними. А в цьому бізнесі навіть невелика похибка може призвести до зіпсованої партії продукції. Ми використовуємо можливості коригування, щоб переконатися, що отримані дані є точними.
Передача даних
Сучасний завод є марним, якщо дані застрягають на певному етапі передачі. Ми вже відмовилися від старих аналогових систем передачі даних типу 4-20 мА. Це вже застарілі технології.
Замість цього ми використовуємо цифрові інтерфейси, які передають дані безпосередньо до контролерів PLC чи MES. Це дозволяє стежити за температурним розподілом на всій поверхні 300-міліметрової вафери в реальному часі. Якщо з’являється „гаряча точка“, ви можете її виявити та усунути ще до того, як вафера пошкодиться.
Кілька порад
Хоча все не так просто. Високоякісні інфрачервоні сенсори генерують велику кількість даних. Якщо пропускна здатність вашої мережі недостатня, виникнуть затримки у передачі даних. А дані, які надходять з затримкою у три секунди, насправді не є данными у реальному часі – це лише історичні дані.
Крім того, потрібно бути обережними щодо оточення. Інфрачервоні сенсори можуть сприймати за помилку відображення світла від кварцових стінок пристрою. Ми зазвичай захищаємо поле зору сенсора. Це просте рішення, але воно дозволяє отримувати точні дані про температуру вафера, а не лише про стан внутрішньої частини пристрою.