如何保持100级洁净室的纯净状态？
如果你正在运营100级洁净室，那么你肯定明白颗粒物带来的困扰。哪怕是来自廉价加热元件的微小碎片，都可能毁掉你的硅片或医疗植入物。这真是令人头疼的问题。
因此，我们不再使用那些会释放气体或出现剥落现象的普通电阻式加热器。取而代之的是高纯度的石英红外灯以及镀金反射器。
为什么选择石英？
我们使用合成熔融石英作为灯罩材料，因为它具有出色的耐热性，能够承受极端的温度变化而不破裂。更重要的是，它在高温下不会变成灰尘。
至于镀金反射器，它的作用并非为了美观，而是为了提高效率。它可以将近98%的红外辐射反射回工件上。这样一来，热量就不会泄漏到机器外壳中，从而保持室内温度的稳定。这样效果更好。
正确设置参数
关键在于要平衡电压和功率，以及所需加热速度之间的关系。高功率、短波长的灯泡虽然能很快达到目标温度，但会给电源带来巨大负担。如果使用长管型灯泡，则需要注意电压下降的情况。
我总是建议使用高品质的连接器。因为在真空或洁净环境中，电弧现象会引发灾难性后果——它会产生金属微粒，而这些微粒绝对不能出现在生产过程中。
需要注意的几点
镀金反射器虽然很擅长散热，但它们比较柔软。如果维护人员用粗糙的布来擦拭它们，就会划伤涂层，从而降低其效率。最好使用不掉绒的清洁布和异丙醇来清洁。很简单而已。
另外，还要记住，集中的红外热源强度很高。如果材料的熔点较低，就不能简单地“设定好温度后就不管了”。你需要使用具有快速采样功能的PID控制器，以防止温度超出控制范围。否则，即使洁净室非常干净，也有可能烧毁工件。