一种更有效的MEMS晶圆干燥方法
如果您从事过MEMS传感器的制造工作，就会知道其中存在的挑战。要让晶圆在干燥过程中不会留下残留物，或者因热应力而变形，实在是一件非常困难的事。
大多数人选择使用常规的对流式加热器，但这种方法存在一个问题：它会导致设备腔室内的内壁被过度加热。这不仅浪费能源，而且对于那些需要进入设备内部的人来说，也存在着安全隐患。
我们找到了更好的方法——定向红外加热灯。
其工作原理
传统电阻式加热器试图加热芯片周围的空气，而红外灯则不同。它们能以直线方式发射电磁辐射。我们将这些灯直接对准晶圆，热量会直接作用于晶圆及其中的液体残留物，从而实现快速蒸发。由于热量是精准作用于目标区域的，因此设备的其他部分不会被加热，从而避免了能源的浪费。
需要注意的问题
不过，这并非“即插即用”的解决方案。为了确保为MEMS芯片提供合适的加热效果，我们通常会使用短波石英灯。这类灯的升温速度很快，有助于保持生产线的正常运转。
不过，灯与晶圆之间的距离也需要精确控制。如果距离太近，就会造成局部过热，进而损坏传感器；如果距离太远，则干燥时间会变得过长。因此，必须找到合适的距离。
带来的好处
最棒的是，无需再使用那些笨重且占据大量空间的绝缘材料。这样一来，工具所占的空间就会大大减少。此外，开机后也不需要等待很长时间才能开始工作了。操作人员可以更快地进入设备内部，而不必担心会被高温的装置烫伤。
最后一点建议：请确保电源能够承受激光灯的高功率输出。如果无法承受，那么灯光很可能会闪烁，或者灯丝会过早烧毁。