In den Produktionsräumen werden die Anforderungen an den PVD-Prozess immer strenger – jedes Quartal scheint es, als würden wir wieder einen „Winkel“ aus dem Prozess herausgeschnitten. Schon eine kleine Temperaturschwankung der Lampen reicht aus, um das Verhalten des Photolackes zu beeinflussen. Dadurch entstehen Unregelmäßigkeiten in der Dicke der Schichten sowie in der Breite der Linien. Wir haben diese PVD-Lampen so konstruiert, dass sie auch bei wiederholten Prozesszyklen eine konstante Temperatur garantieren.
Was wirklich wichtig ist: Diese Lampen nutzen kurzwelliges Infrarotlicht und sind in Quarzkästen untergebracht. Dadurch erfolgt eine schnelle Anheizung der Substrate, und die Kontrolle der Temperatur bleibt präzise. In der Befeuerungszone bleibt die Homogenität auf dem Waferniveau bei ±0,1°C – das reicht aus, um die Grenzwerte für den weichen und harten Befeuervorgang einzuhalten. Die Lampen sind für Reinräume der Klasse 1–100 geeignet; sie haben eine dichte Bauweise mit geringer Gasemission und erzeugen keine Partikel. Das thermische System ist für einen Dauerbetrieb von 7×24 Stunden ausgelegt. Laut Felddaten gab es über 5.000 Betriebsstunden hinweg keine unplanmäßigen Ausfälle, und die Abweichung der Leistung lag unter 5%.
Im PVD-Prozess ist eine wiederholbare Substrattemperatur entscheidend – sie bestimmt, ob die Produkte erfolgreich hergestellt werden können oder nicht. Diese Lampen sorgen dafür, dass die Temperatur bei jedem Prozessschritt konstant bleibt. Dadurch wird die Varianz in der Dicke der Schichten reduziert, und die Haftung des Films an dem Substrat wird verbessert. Der Vorteil ist eine vorhersehbare Prozessqualität, weniger Nacharbeiten und kürzere Wartungsintervalle.
Der Energieverbrauch wird so gesteuert, dass eine schnelle Anheizung möglich ist und gleichzeitig hohe Leerlaufverluste vermieden werden. So können die Betriebskosten gesenkt werden, ohne dass die Anheizgeschwindigkeit leidet.
Ein paar praktische Hinweise zur Installation: Die Lampen passen direkt in die Standard-PVD-Anlagen. Dennoch muss während der Installation noch die Ausrichtung bezüglich der Temperaturanschlüsse der Kammer sowie der Kühlstränge überprüft werden. Es wird eine kurze Einstellzeit benötigt, um die PID-Einstellungen für die Kammer und die Halterung anzupassen. Sobald das erreicht ist, bleiben die Einstellungen konstant, und die Wartungsintervalle verlängern sich – dadurch gibt es mehr Betriebszeit und weniger Aufwand bei der Wartung.