در فرآیند لیتوگرافی، تغییر دما به میزان ۱ درجه سانتیگراد در حین فرآیند پخت نرم، میتواند باعث تغییرات ریز در ساختار فوتورزیست شود؛ این تغییرات مستقیماً منجر به خطاهایی در کیفیت محصول میشوند. ما هیترهای مورد استفاده در کارخانههایمان را طوری طراحی کردهایم که بتوانند با این واقعیت کنار بیایند، نه اینکه با آن مبارزه کنند. به عنوان تولیدکننده هیترهای چینی، ما ماژولهای گرمایشی را ارائه میدهیم که میتوانند یکنواختی دما روی سطح ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ کنند؛ در نتیجه ابعاد حیاتی محصول نیز تحت کنترل باقی میمانند.
چه چیزهایی اهمیت دارد؟
ما از سیستمهای تابش مادون قرمز با منبع گرمایی کوارتز-هالوژن استفاده میکنیم. گرمای تولید شده سریع و خشک است؛ همچنین، جرم کم این منابع باعث میشود دما به سرعت ثابت شود. کنترل حلقه بسته، امکان نگه داشتن دما در محدوده مشخص شده را فراهم میکند؛ برای این منظور از سنسورهایی استفاده میشود که قابل تطبیق با استانداردهای NIST هستند. تکرارپذیری این سیستم در هر چرخه، در محدوده ±۰.۲ درجه سانتیگراد است.
مواد و روشهای ساخت
در ساخت این دستگاه از مواد با خلوص بالا و اتصالات جوشخورده استفاده شده است؛ این امر باعث کاهش گازهای تولید شده و ایجاد ذرات میشود. بنابراین، این دستگاه میتواند استانداردهای اتاقهای سالم کلاس ۱ تا ۱۰۰ را برآورده کند. تراکم انرژی نیز به گونهای تنظیم شده است که با چترهای ویفر و صفحات گرمسیری سازگار باشد؛ همچنین، گزینههای مربوط به ولتاژ و ابعاد نیز در دسترس هستند.
چرا این دستگاه برای تولید مناسب است؟
فرآیند پردازش فوتورزیست – چه در مرحله پخت نرم، چه پخت سخت، و چه پس از پخت – به یک سیستم گرمایی پایدار وابسته است. هیترهای ما به سرعت به دمای مورد نیاز میرسند، از فراتر رفتن دما جلوگیری میکنند، و یکنواختی دما روی ویفرها را حفظ میکنند. میتوانید مزایای این سیستم را مشاهده کنید: توزیع بهتر ابعاد حیاتی، کاهش تعداد محصولات نامرغوب، و بهبود بازدهی تولید.
صرفهجویی در مصرف انرژی
به دلیل اینکه این سیستم فقط زمانی گرما تولید میکند که لازم باشد، و همچنین سریع سرد میشود، مصرف انرژی کاهش مییابد. این سیستم میتواند ۲۴/۷ کار کند، بدون نیاز به توقفهای غیرمنتظره.
چه چیزهایی برای عملکرد صحیح این دستگاه ضروری است؟
نصب این دستگاه به عواملی مانند صافی سطح چتر ویفر، فشار تماس، و درصد انتشار گرما بستگی دارد. حتی یک فاصله کوچک هوا نیز میتواند باعث ایجاد عدم یکنواختی در دما شود. برای اطمینان از عملکرد صحیح دستگاه، باید یک بار آزمایشی انجام دهید؛ سپس تنظیمات دستگاه را ثابت کنید. این دستگاه تنها در صورتی میتواند به درستی کار کند که از رابطه مکانیکی آن به عنوان بخشی از سیستم گرمایی در نظر گرفته شود، نه چیزی جداگانه.