در فرآیند PVD، شرایط لازم برای انجام کار به طور مداوم در حال سختتر شدن است؛ هر سه ماه یکبار، به نظر میرسد که مجبوریم یک قسمت دیگر از پروفایل حرارتی را کاهش دهیم. تنها یک نوسان حرارتی در یکی از لامپها میتواند باعث اختلال در پروفایل حرارتی شود و در نتیجه، تغییراتی در عرض خطوط و جزئیات تصویر ایجاد شود. ما این لامپهای PVD را طوری طراحی کردهایم که بتوانند پروفایل حرارتی را در طول شیفتها و چرخههای مختلف حفظ کنند.
آنچه واقعاً اهمیت دارد: این لامپها از نوع مادونقرمز کوتاهامواج هستند و دارای پوشش کوارتزی هستند؛ بنابراین روند گرم شدن آنها سریع و کنترل آنها نیز دقیق است. در سراسر منطقه گرمایشی، یکنواختی دمای ویفرها در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ این میزان برای حفظ استانداردهای لازم در فرآیندهای گرمایشی کافی است. این لامپها برای محیطهای پاکسازی شده در کلاس ۱ تا ۱۰۰ طراحی شدهاند؛ دارای ساختاری بسته و بدون انتشار گاز، و همچنین بدون تولید ذرات هستند. سیستم حرارتی این لامپها برای کار ۲۴ ساعته در روز طراحی شده است؛ دادههای عملیاتی نشان میدهد که در طی بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار، هیچ خرابی غیرمنتظرهای رخ نداده است و اختلالات در خروجی کمتر از ۵٪ بوده است.
در فرآیند PVD، داشتن دمای یکنواخت روی سطح ویفر، کلید موفقیت در تولید محصولات با کیفیت است. این لامپها پروفایل حرارتی را در هر بار کار تثبیت میکنند؛ این امر باعث کاهش تغییرات در عرض خطوط و بهبود چسبندگی فیلم روی سطح ویفر میشود. نتیجه آن، شرایط کاری پیشبینیپذیر، کاهش تعداد محصولات باکیفیت، و امکان برنامهریزی بهتر برای تعمیرات است.
میزان مصرف انرژی نیز به گونهای تنظیم شده که سرعت گرم شدن لامپها بالا باشد و همزمان اتلاف انرژی در حالت استراحت کم باشد؛ بنابراین میتوان هزینههای عملیاتی را کاهش داد، بدون اینکه سرعت گرم شدن لامپها کاهش یابد.
نکات عملی در زمان نصب: این لامپها میتوانند مستقیماً در پلتفرمهای استاندارد PVD نصب شوند؛ اما هنوز هم لازم است که محل قرارگیری آنها نسبت به دریچههای حرارتی و مسیرهای خنککننده محیط کنترل شود. برای تنظیم پارامترهای PID مربوط به بار حرارتی و ساختار لامپ، به زمان کوتاهی نیاز است. پس از تنظیم، یکنواختی دما حفظ میشود و فاصلههای تعمیرات نیز طولانیتر میشود؛ در نتیجه، زمان کاری لامپها افزایش یافته و نیاز به نظارت مداوم کاهش مییابد.