روش بهتری برای خشک کردن ویفرهای MEMS
اگر تجربهای در تولید سنسورهای MEMS دارید، میدانید که این کار چقدر دشوار است. خشک کردن ویفرها بدون ایجاد باقیماندههای مایع، یا حتی تغییر شکل آنها به دلیل تنشهای حرارتی، کاری بسیار دشوار است.
اکثر افراد از گرمکنهای معمولی برای این کار استفاده میکنند؛ اما مشکل اینجاست که این گرمکنها باعث گرم شدن دیوارههای داخلی ماشین میشوند. این کار باعث هدر رفت انرژی میشود؛ همچنین، برای کسانی که مجبورند وارد ماشین شوند، این وضعیت خطرناک است.
ما روش بهتری پیدا کردهایم: استفاده از لامپهای گرمایشی مادون قرمز.
نحوه کارکرد آنها
فکر کنید که گرمکنهای مقاومتی سعی میکنند هوای اطراف قطعه را گرم کنند؛ اما لامپهای مادون قرمز متفاوت هستند. آنها تشعشعات الکترومغناطیسی را در خط مستقیم ارسال میکنند. ما این لامپها را مستقیماً روی ویفر قرار میدهیم؛ انرژی به ویفر و باقیماندههای مایع برخورد کرده و منجر به تبخیر سریع آنها میشود. از آنجایی که گرما به صورت هدفمند اعمال میشود، دیوارههای ماشین سرد باقی میمانند. شما نیازی نیست انرژی زیادی را صرف گرم کردن کل اتاق کنید؛ فقط قسمتی که نیاز به گرما دارد، گرم میشود.
نکات مهم
البته این روش به این سادگیها نیست. برای دستیابی به چگالی گرمایی مناسب برای MEMS، معمولاً از لامپهای کوارتزی استفاده میشود. این لامپها به سرعت گرم میشوند، که برای ادامه فرآیند تولید بسیار خوب است.
اما باید مراقب فاصله لامپ از ویفر باشید؛ اگر لامپ خیلی نزدیک باشد، مناطق گرم ایجاد میشود که سنسور را خراب میکند؛ اگر لامپ خیلی دور باشد، زمان خشک شدن ویفر طولانی خواهد شد. باید فاصله مناسبی را انتخاب کنید.
تسهیل کار در محیط تولید
بهترین نکته این است که نیازی به استفاده از عایقهای بزرگ و حجیم نیست؛ این کار باعث میشود ابزارها فضای کمتری را اشغال کنند.
همچنین، این روش باعث کاهش زمان انتظار برای شروع کار ماشین میشود؛ اپراتورها میتوانند سریعتر وارد ماشین شوند، بدون اینکه نگران سوختن توسط بدنه داغ ماشین باشند.
فقط یک نکته: مطمئن شوید که منبع تغذیه ماشین بتواند توان پیک لامپ را تأمین کند؛ در غیر این صورت، ممکن است لامپ زودتر خراب شود.