Di fasilitas produksi PVD, batasan-batasan yang harus dipatuhi semakin ketat dari waktu ke waktu. Setiap kuartal, sepertinya kita harus terus memperkecil batasan-batasan tersebut. Sedikit saja perubahan suhu pada lampu PVD sudah cukup untuk mengganggu proses pembakaran lapisan fotoresist. Akibatnya, terjadi variasi pada ketebalan lapisan dan lebar garis-garis yang dihasilkan. Kami merancang lampu PVD ini agar dapat menjaga stabilitas suhu, dari siklus ke siklus.
Yang benar-benar penting adalah… Lampu-lampu ini menggunakan sinar inframerah berpanjang gelombang pendek, sehingga proses pemanasan berlangsung cepat dan kontrol suhu tetap stabil. Di seluruh area pembakaran, tingkat keseragaman suhu pada wafer mencapai ±0,1°C—angka yang cukup untuk melindungi kualitas wafer selama proses pembakaran. Lampu-lampu ini dirancang untuk digunakan di ruang bersih kelas 1–100, dengan konstruksi yang kedap udara dan tidak menghasilkan partikel apa pun. Sistem termalnya dirancang untuk beroperasi 24/7, dan data penggunaan menunjukkan bahwa tidak ada kerusakan yang terjadi selama lebih dari 5.000 jam, dengan penyimpangan suhu kurang dari 5%.
Dalam proses PVD, ketepatan suhu substrat sangat penting agar hasil produksi tetap berkualitas. Lampu-lampu ini memastikan stabilitas suhu setiap kali proses pembakaran berlangsung, sehingga variasi ketebalan lapisan dan lebar garis-garis menjadi lebih kecil. Dengan demikian, proses produksi menjadi lebih dapat diprediksi, jumlah produk yang harus direvisi berkurang, dan pemeliharaannya pun lebih mudah direncanakan.
Penggunaan energi dalam lampu-lampu ini dirancang sedemikian rupa agar proses pemanasan berlangsung cepat, tanpa menyebabkan kerugian energi yang berlebihan. Dengan demikian, biaya operasional dapat dikurangi tanpa mengorbankan kecepatan proses pemanasan.
Beberapa catatan praktis dari proses pemasangan: Lampu-lampu ini dapat langsung dipasang di platform alat PVD standar. Namun, Anda tetap perlu memastikan bahwa posisi lampu tersebut cocok dengan port termal di ruang produksi serta jalur pendinginan yang ada. Waktu penyetelan awal mungkin membutuhkan waktu singkat, tetapi setelah itu, tingkat repetibilitas pengaturan suhu akan tetap stabil. Dengan demikian, interval pemeliharaan pun menjadi lebih panjang—maka waktu operasional pun meningkat, dan pekerjaan pemeliharaan pun berkurang.