ウェーハツール用温度センサー

ウェーハの温度を推測するのはやめましょう。 スマートファブを構築する場合、まず最初にやるべきことは、接触型の熱電対を使わないことです。それらはあまりにも反応が遅いからです。また、センサーがウェーハに触れることで、ウェーハが汚染されるリスクもあります。 そのため、私たちは高効率な赤外線センサーを利用...