ホットヨガスタジオでは、適切な温度が重要です。単に熱いだけでなく、温かく感じられるのが理想的です。部屋が冷たすぎると、筋肉が緊張し、呼吸も乱れます。また、暖房の効果が不均一だと、流れが途切れてしまい、人々が求めている深いリラックス効果を得ることができません。私たちは長年にわたって赤外線電気ヒーター...

リソグラフィー工程において、ソフトベイク中の1℃の温度変動だけで、フォトレジストの形状がナノメートル単位で変化してしまいます。そして、その変動は直接的にオーバーレイエラーとして現れます。私たちは、このような現実に対処するためのヒーターを開発しました。中国で製造されるヒーターメーカーとして、ウェハ全...

ファブ内では、ご存知の通り、焼成温度が0.1℃でも変動するだけで、フォトレジストの品質が悪化してしまいます。だからこそ、熱管理や再現性、粒子制御が製品の品質を左右するような状況において、このウェーハ乾燥装置を導入したのです。 技術的に重要な点 150mmおよび200mmサイズのウェーハにおいて...