MEMSウェーハをより効率的に乾燥させる方法 MEMSセンサーの製造に携わったことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。残留物を残さずにウェーハを乾燥させるのは容易ではありません。さらに悪いことに、熱応力によって部品が変形してしまうこともあります。これは常に解決が難しい問題です。 多くの人々...

なぜ水素センサーの製造に赤外線硬化技術を採用したのか もし、依然として従来の対流式オーブンを使って半導体用の水素センサーを製造しているのであれば、それはまさに苦労の多い作業です。私たちはそのような大きくて重い装置を使わず、赤外線硬化技術を採用しました。なぜでしょうか？それは、よりクリーンで、速く、...

クリーンルームを常に清潔な状態に保つための赤外線ヒーターの作り方 正直に言って、クラス100のクリーンルームを運用している場合、仕様書だけでは全てを把握することはできません。重要なのは、運転中に問題を引き起こすような微細な要素——例えばガスの発生や浮遊粒子、あるいは装置内に潜入してすべてを台無しに...