工場内での炭素削減：なぜ赤外線ヒーターが最適か 正直言って、クリーンルーム内で物を加熱するのは大変です。高い精度が求められますが、同時に空気の質を悪化させてはいけません。多くの人々は従来の対流式オーブンを使いますが、それはまるで家全体の暖房をつけて、たった一枚のピザだけを温めようとするようなもので...

赤外線加熱と強制送風：クリーンルームで本当に重要なのは何か？ 半導体の高度な処理を行っている方なら、熱管理の難しさをご存知でしょう。私たちの多くは、強制送風式の加熱方法を使ってきました。つまり、空気を温めて、その空気が部品を温めるのを待つわけです。しかし、これには時間がかかります。遅いのです。 一...

クラス100のクリーンルームを本当に清潔な状態に保つために もし、クラス100（ISO 5）の環境で作業を行っているのであれば、粒子が発生するという問題をご存知でしょう。わずかな破片や安価なヒーターから出るガスだけで、ウェーハや医療用光学機器が壊れてしまいます。これは大変な事故です。 そのため、私...

熱と化学物質が接触したときの安全性の確保 もし、製造現場でクリーンルーム用の機器をアップグレードするとき、特に化学的な清掃工程で使われる機器の場合、その危険性はよくわかっているはずです。そこでは、燃えやすい蒸気や液体が存在し、それらは触れるものすべてを破壊してしまいます。 そうした環境では、一般的...

フロア上では、フォトレジストの加熱処理が安定しているかどうかは、最後に行われた熱処理の影響を受けます。ウェーハはトロリーの上に置かれており、温度が少しでも変動すると、フォトレジストの寸法に誤差が生じる可能性があります。そうなると、歩留まりが低下してしまいます。私たちは、このような不確実性を排除する...