金メッキ処理が施されたIRランプの正しい使用方法：安全性と品質について 半導体ウェハの加工を行う際には、熱が何よりも重要であることはご存知でしょう。だからこそ、私たちは金メッキ処理が施された赤外線ランプを使用しています。石英に薄い金の層を塗ることで、ランプを鏡のようにし、熱を基板に向かって反射させ...

半製品の炭素排出量を削減するために：なぜ赤外線が最適なのか 正直に言って、従来の抵抗加熱式のオーブンはエネルギーを無駄に消費するものです。ウェーハが何の影響も受ける前に、チャンバー内の空気を温めるだけで大量の電力が消費されてしまいます。これは非効率的であり、私たちが炭素排出量を削減しようとする今の...

セミコンダクター製品の中で生じる不要な熱を抑えよう 一度、装置の内側の壁に触れてみてください。おそらく、肌が焼けるような感覚がするはずです。これが、従来の加熱要素が抱える問題です。彼らは熱をあちこちに放出してしまいます。狭いセミコンダクター製品の中では、その「不要な熱」によって高価な機器が巨大なオ...

はじめに 滑らかに動作するスマートファクトリーを想像してみてください。そこでは、あらゆる要素が同期して動作します。そのような環境では、適切な温度を維持することは単なる付随的な作業ではありません。それは、全体の運営を支える重要な要素なのです。 半導体製造に必要な高温を得るためには、正確で迅速に動作し...

フロア上では、フォトレジストの加熱処理が安定しているかどうかは、最後に行われた熱処理の影響を受けます。ウェーハはトロリーの上に置かれており、温度が少しでも変動すると、フォトレジストの寸法に誤差が生じる可能性があります。そうなると、歩留まりが低下してしまいます。私たちは、このような不確実性を排除する...