制御大気焼成ランプ

ファブフロアでは、フォトレジストベークは決して「単なる温度工程」ではない。これは、承認する熱予算である。 ソフトベークまたはハードベークで0.5℃の変動があると、クリティカルディメンション（CD）の分布がずれる。1つのパーティクル発生でロットが廃棄になることもある。ラインが7×24稼働のスケジュー...