ウェーハ加熱の安全距離

化学ウェーハを加熱する際の安全対策 正直言って、赤外線ランプを化学洗浄液の中に設置するのは、まるで火遊びのようなものです。実際、揮発性の蒸気が漂っており、わずかな火花や表面が閃点以上に熱くなっただけで、大きな問題が起こり得ます。 だからこそ、単にランプを設置して運を天に任せるわけにはいきません。私...