燃料電池触媒乾燥ランプ

フォトレジストのソフトベイクやハードベイクの際には、温度の変動を許容するわけにはいきません。一か所でも高温になれば、触媒層がずれてしまいます。逆に低温になれば、現像後に汚れが発生してしまいます。だからこそ、燃料電池用の触媒乾燥ランプは、ウェーハの乾燥、リソグラフィー工程、パッケージング工程、クリー...