半導体製造工場における炭素排出量の削減：なぜ赤外線加熱が最適なのか もし本当に半導体製造工場でカーボンニュートラルを実現したいのであれば、エネルギーの無駄遣いをやめなければなりません。その最大の原因は、ウェーハを加熱する方法にあります。 従来の抵抗式ヒーターは、まるで部屋全体を温めるためのヒーター...

半製品の炭素排出量を削減するために：なぜ赤外線が最適なのか 正直に言って、従来の抵抗加熱式のオーブンはエネルギーを無駄に消費するものです。ウェーハが何の影響も受ける前に、チャンバー内の空気を温めるだけで大量の電力が消費されてしまいます。これは非効率的であり、私たちが炭素排出量を削減しようとする今の...

破片の発生を防ぐ：ラムプが故障したときにもウェーハを守る方法 高負荷の製造環境では、ラムプが壊れることは単なる迷惑なだけではありません。それはまさに悪夢です。 石英製のカバーが割れると、ガラスの破片やほこりがウェーハに降りかかります。そうなると、そのロットは廃棄処分になってしまいます。そして、ライ...