工場の乾燥設備に関するエネルギー診断

破片の発生を防ぐ：ラムプが故障したときにもウェーハを守る方法 高負荷の製造環境では、ラムプが壊れることは単なる迷惑なだけではありません。それはまさに悪夢です。 石英製のカバーが割れると、ガラスの破片やほこりがウェーハに降りかかります。そうなると、そのロットは廃棄処分になってしまいます。そして、ライ...