化学ウェーハを加熱する際の安全対策 正直言って、赤外線ランプを化学洗浄液の中に設置するのは、まるで火遊びのようなものです。実際、揮発性の蒸気が漂っており、わずかな火花や表面が閃点以上に熱くなっただけで、大きな問題が起こり得ます。 だからこそ、単にランプを設置して運を天に任せるわけにはいきません。私...

赤外線ペディアヒーターを設置する際、装置と天井との距離は、単なる仕様書上の数値ではありません。それは必須の要素です。 その理由は、このようなヒーターは強力な放射熱を放出するからです。そして、ヒーターの内部にある配線や接続部品は、その熱の真ん中に位置しています。もしヒーターが天井に近すぎると、温度が...