化学ウェーハを加熱する際の安全対策
正直言って、赤外線ランプを化学洗浄液の中に設置するのは、まるで火遊びのようなものです。実際、揮発性の蒸気が漂っており、わずかな火花や表面が閃点以上に熱くなっただけで、大きな問題が起こり得ます。
だからこそ、単にランプを設置して運を天に任せるわけにはいきません。私たちは、このような危険な状況に対応するために、特別な封止構造を持つ赤外線ランプを作っています。
安全距離の真実
「安全距離」という言葉を聞くと、単に物体同士が触れないようにすることを想像する人が多いです。しかし実際には、熱がどのように伝わるかが重要です。
もしランプがウェーハや化学物質の表面に近すぎると、熱点ができてしまいます。これは良くありません。私たちは、焦点を非常に正確に調整しています。そうすることで、加熱要素を可燃性の蒸気から十分に離しておきつつ、ウェーハに必要な温度を正確に与えることができます。
装置と精神を守るために
私たちは決してクォーツ管を露出した状態にしません。それは問題を招くだけです。
化学薬品による腐食や電気的な問題を防ぐために、保護シースや特殊な密封処理を施します。これは、ランプの高電圧部分を腐食性の空気から守るためのシールドのようなものです。私たちは、洗浄剤に耐えられる素材を使用しています。
しかし、問題は、密封部分が壊れることです。密封部分が壊れると、蒸気が電気部品に漏れ込み、ランプがすぐに壊れてしまいます。これを防ぐために、高耐熱性のガスケットを使用しています。これが効果的です。
トレードオフ
ただし、注意点もあります。保護シースを追加すると、赤外線の透過率が少し低下します。熱の一部がウェーハに到達する前に、シールドに吸収されてしまいます。
ワット数を選ぶ際には、この点を考慮する必要があります。特定の加熱時間を目指す場合は、シールドの分を補うために出力を上げる必要があります。ただし、電源が余分な負荷に耐えられるかを確認してください。そうしないと、運転中にブレーカーが落ちてしまいます。