製造現場では、フォトレジストの処理においてはわずかな誤差も許されません。ソフトベイクやハードベイク時の温度が1℃変動するだけで、重要な寸法が変わってしまいます。また、粒子の存在によっては、大量のウェーハが廃棄されてしまうこともあります。私たちは、このような変動を防ぐために、石英製の加熱ランプを設計しました。
内部で重要なのは何か これらのランプは、高純度の石英製のケース内に短波長のハロゲン素子を内蔵しているため、応答速度が速く、熱制御も非常に精密です。ウェーハ全体の温度均一性は±0.1℃以内を保ち、再現性も高く安定しています。また、粒子による影響もなく、クラス1からクラス100のクリーンルームでも使用可能です。5,000時間以上の運転でも出力が安定し、5％未満の減少しか見られないため、24時間365日の連続運転にも対応できます。
なぜリソグラフィーに適しているのか リソグラフィー工程において、これらのランプはフォトレジストの加熱条件を厳密に管理するため、ウェーハの幅のばらつきや不良品の発生を減少させます。正確な温度制御により、過剰な硬化を避けながら加熱時間を短縮できます。その結果、処理能力が向上し、エネルギー消費も減少します。また、歩留まりが向上し、再加工の必要もなくなり、計画通りに作業を進めることができます。石英製のケースを使用しているため、取り付けも簡単で、切り替えにかかる時間も最小限です。
注意すべき実用的な点 取り付け時には、電圧やコネクタの種類、ケースのサイズを装置に合わせる必要があります。また、薄膜の場合、吸収特性が変化する可能性があるため、必ず熱特性を確認してください。これらのランプは機械的な衝撃に弱いため、しっかりと固定して取り付ける必要があります。また、起動時にはわずかな温度上昇がありますが、加熱条件を調整することでそれを補正できます。適切な位置合わせにより、ホットスポットを避け、数千枚のウェーハにおいても±0.1℃の均一性を維持できます。