ウェーハを加熱する代わりに、装置自体を加熱するのはやめましょう。 ほとんどの赤外線ヒーターは、エネルギーをあらゆる方向に放出してしまいます。つまり、360度から熱が放散されるわけです。半導体製造装置の限られたスペースでは、これは大きな問題です。装置の内壁がその余分なエネルギーを吸収してしまい、間も...

製造装置が勝手に過熱するのを防ぐ 半導体製造工場では、本来あるべき場所にない熱は大きな問題となります。 もし通常の赤外線ランプを使用しているなら、その問題に気づいているはずです。つまり、エネルギーがあちこちに散乱してしまうのです。その「無駄な熱」の多くが装置の内壁に当たります。やがて、機械のケース...

スマートファブで適切な温度管理を行うには Industry 4.0向けのスマートファブを構築する場合、大量の熱を加えるという考え方は捨てるべきです。従来のやり方、つまり大きな空間全体を温めるという方法は無駄なことです。実際、空気を温めるためにお金を払っているだけで、製品には何の効果もありません。...

熱と化学物質が接触したときの安全性の確保 もし、製造現場でクリーンルーム用の機器をアップグレードするとき、特に化学的な清掃工程で使われる機器の場合、その危険性はよくわかっているはずです。そこでは、燃えやすい蒸気や液体が存在し、それらは触れるものすべてを破壊してしまいます。 そうした環境では、一般的...

なぜクォーツガラスがIRランプにとって重要なのか スマートファックトリーにおいては、熱がすべてです。しかし、単に物を温めるだけでは不十分で、精度が求められます。IRシステムを導入する際、クォーツガラス製のシールドは、実質的に重要な役割を果たします。これは、加熱要素と生産現場の混乱との間にある唯一の...

破片の発生を防ぐ：ラムプが故障したときにもウェーハを守る方法 高負荷の製造環境では、ラムプが壊れることは単なる迷惑なだけではありません。それはまさに悪夢です。 石英製のカバーが割れると、ガラスの破片やほこりがウェーハに降りかかります。そうなると、そのロットは廃棄処分になってしまいます。そして、ライ...

オーブンを使わない方法：無鉛半導体を硬化させるためのより優れた手段 業界では「グリーン」で無鉛の基準を目指して努力が続けられています。これは至る所で見られますが、特に乾燥や硬化の段階でその効果が顕著に現れます。 長い間、私たちは大きな対流式オーブンを使用してきました。しかし、問題点があります。大量...

リソグラフィー工程において、ソフトベイク中の1℃の温度変動だけで、フォトレジストの形状がナノメートル単位で変化してしまいます。そして、その変動は直接的にオーバーレイエラーとして現れます。私たちは、このような現実に対処するためのヒーターを開発しました。中国で製造されるヒーターメーカーとして、ウェハ全...

製造現場では、フォトレジストの処理においてはわずかな誤差も許されません。ソフトベイクやハードベイク時の温度が1℃変動するだけで、重要な寸法が変わってしまいます。また、粒子の存在によっては、大量のウェーハが廃棄されてしまうこともあります。私たちは、このような変動を防ぐために、石英製の加熱ランプを設計...