カーボンファイバー赤外線ランプ工場

ウェーハを加熱する代わりに、装置自体を加熱するのはやめましょう。 ほとんどの赤外線ヒーターは、エネルギーをあらゆる方向に放出してしまいます。つまり、360度から熱が放散されるわけです。半導体製造装置の限られたスペースでは、これは大きな問題です。装置の内壁がその余分なエネルギーを吸収してしまい、間も...