省エネ型ウェーハヒーター

半導体製造工場における炭素排出量の削減：なぜ赤外線加熱が最適なのか もし本当に半導体製造工場でカーボンニュートラルを実現したいのであれば、エネルギーの無駄遣いをやめなければなりません。その最大の原因は、ウェーハを加熱する方法にあります。 従来の抵抗式ヒーターは、まるで部屋全体を温めるためのヒーター...