中国製 ファブヒーター工場

リソグラフィー工程において、ソフトベイク中の1℃の温度変動だけで、フォトレジストの形状がナノメートル単位で変化してしまいます。そして、その変動は直接的にオーバーレイエラーとして現れます。私たちは、このような現実に対処するためのヒーターを開発しました。中国で製造されるヒーターメーカーとして、ウェハ全...